N° de brevet Brevet
FR2640040 PROCEDE ET DISPOSITIF DE MESURE OPTIQUE
FR2620537 DISPOSITIF OPTIQUE A MISE AU POINT AUTOMATIQUE ET APPAREIL OPTIQUE COMPORTANT UN TEL DISPOSITIF
FR2519156 DISPOSITIF OPTIQUE A SOURCE D'ENERGIE RADIANTE POUR LE TRANSFERT DE MOTIFS SUR UN SUBSTRAT ET PROCEDE DE MISE EN OEUVRE
FR2472209 SYSTEME OPTIQUE D'ALIGNEMENT AUTOMATIQUE DE DEUX MOTIFS COMPORTANT DES REPERES S'ALIGNEMENT DU TYPE RESEAUX, NOTAMMENT EN PHOTO–REPETITION DIRECTE SUR SILICIUM
FR2472208 SYSTEME OPTIQUE D'ALIGNEMENT DE DEUX MOTIFS ET PHOTOREPETEUR METTANT EN OEUVRE UN TEL SYSTEME
EP0030899 Système d'alignement optique de deux motifs comportant des repères d'alignement du type réseaux, notamment en photorépétition directe sur silicium
EP0030878 Système optique d'alignement de deux motifs et photorépéteur mettant en oeuvre un tel système.
FR2465241 DISPOSITIF ILLUMINATEUR DESTINE A FOURNIR UN FAISCEAU D'ECLAIREMENT A DISTRIBUTION D'INTENSITE AJUSTABLE ET SYSTEME DE TRANSFERT DE MOTIFS COMPRENANT UN TEL DISPOSITIF
EP0025397 Dispositif illuminateur destiné à fournir un faisceau d'éclairement à distribution d'intensité ajustable et système de transfert de motifs comprenant un tel dispositif
FR2455298 DISPOSITIF ILLUMINATEUR DESTINE A FOURNIR UN FAISCEAU D'ECLAIREMENT DIVERGENT A PARTIR D'UNE ZONE PREDETERMINEE D'UN PLAN ET SYSTEME DE TRANSFERT DE MOTIFS COMPRENANT UN TEL DISPOSITIF
FR2455299 ILLUMINATEUR A LAMPE A ARC ET DISPOSITIF OPTIQUE DE TRANSFERT PAR PROJECTION COMPORTANT UN TEL ILLUMINATEUR
EP0018264 Illuminateur à lampe à arc
FR2450468 SYSTEME OPTIQUE D'ALIGNEMENT DE DEUX MOTIFS ET PHOTOREPETEUR METTANT EN OEUVRE UN TEL SYSTEME
FR2450470 SYSTEME OPTIQUE DE PROJECTION EN PHOTOREPETITION
FR2449897 GYROMETRE INTERFEROMETRIQUE A FIBRE OPTIQUE PARTICULIEREMENT ADAPTE A LA MESURE DE FAIBLES VITESSES DE ROTATION
EP0015789 Dispositif optique de projection en photorépétition
EP0015173 Système optique d'alignement de deux motifs et photorépéteur utilisant un tel système
FR2429447 SYSTEME OPTIQUE DE PROJECTION MUNI D'UN POSITIONNEUR DE PLAQUE
EP0006787 Système optique de projection muni d'un positionneur de plaque
FR2420796 SYSTEME DE CONTROLE D'UN DESSIN INSCRIT SUR UN SUPPORT PLAN
EP0004505 Appareil de contrôle d'un dessin inscrit sur un support plan
FR2388249 DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT D'UN OBJET DANS UN SYSTEME OPTIQUE DE PROJECTION ET SYSTEME OPTIQUE DE PROJECTION COMPORTANT UN TEL DISPOSITIF
FR2388300 DISPOSITIF OPTIQUE DE PROJECTION DE MOTIFS COMPORTANT UN ASSERVISSEMENT DE FOCALISATION A GRANDISSEMENT CONSTANT
FR2388372 PLATINE A RATTRAPAGE DE NIVEAU ET POSITIONNEUR A INDEXATION MECANIQUE UTILISANT UNE TELLE PLATINE
FR2388371 PROCEDE D'ALIGNEMENT, DANS UN PHOTOREPETEUR, D'UNE PLAQUETTE SEMI–CONDUCTRICE ET DES MOTIFS A Y PROJETER ET PHOTOREPETEUR METTANT EN OEUVRE UN TEL PROCEDE
FR2371716 APPAREIL PHOTOREPETEUR DE MASQUES
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