| N° de brevet |
Brevet |
| EP1892318 |
Éléments résistants au plasma au gaz d'halogène, stratifiés, et éléments résistants à la corrosion |
| EP1420004 |
Une céramique de nitrure d'aluminium et un élément utilisé pour la production de sémiconducteurs |
| EP1357097 |
Matériau de nitrure d'aluminium et éléments utilisés pour la production de semi–conducteurs |
| EP1314707 |
Céramiques à base de nitride d'aluminium, membres pour l'utilisation dans une système pour la production des semi–conducteurs, les membres ayant résistances contre la corrosion et les membres conductives |
| EP1201622 |
Materiau ayant une basse résistivité de volume, corps fritté en nitrure d'aluminium et article pour la fabrication de semiconducteurs |
| EP1158072 |
Elément résistant à la corrosion et aux plasmas halogènes, laminés, et procédés de fabrication |
| EP1128425 |
Corps fritté en nitrure d'aluminium, article ayant un metal encastré, materiau électronique fonctionnel et mandrin de serrage électrostatique |
| EP1088801 |
Corps frittés en nitrure d'aluminium et pièces de fabrication des semiconducteurs les contenant |
| EP0929205 |
Elément de chauffage et procédé pour sa fabrication |
| EP0905106 |
Corps fritté en nitrure d'aluminium, matériau ayant une fonction électronique et dispositif de serrage électrostatique |
| EP0896362 |
Dispositif de support pour semi–conducteur |
| EP0882689 |
Corps composite à base de nitrure d'aluminium, materiau électronique foncitionnel, monture électrostatique et procédé de fabrication d'un corps composite à base d nitrure d'aluminium |
| EP0798278 |
Corps fritté en nitrure d'aluminium, article intégré en métal, matériau d'un fonctionnement électronique et dispositif de serrage électrostatique |
| EP0709668 |
Procédé et appareil de mesure de la concentration des composants d'un gaz |
