N° de brevet Brevet FR2904177 DISPOSITIF ET PROCEDE DE PRODUCTION ET DE CONFINEMENT D'UN PLASMA. FR2904178 DISPOSITIF ET PROCEDE DE PRODUCTION ET/OU DE CONFINEMENT D'UN PLASMA FR2902029 DISPOSITIF ET PROCEDE DE NETTOYAGE D'UN REACTEUR PAR PLASMA FR2858454 PROCEDE DE GENERATION D'UN SIGNAL D'ADRESSAGE DANS UN PANNEAU PLASMA ET DISPOSITIF METTANT EN OEUVRE LEDIT PROCEDE FR2857145 PROCEDE DE GENERATION D'IMPULSIONS BREVES SUR UNE PLURALITE DE COLONNES OU LIGNES D'UN PANNEAU PLASMA ET DISPOSITIF POUR METTRE EN OEUVRE LEDIT PROCEDE FR2857144 PROCEDE DE PILOTAGE D'UN PANNEAU A PLASMA A DECLENCHEMENT MATRICIEL ECHELONNE FR2841378 DALLE DE DECHARGES COPLANAIRES POUR PANNEAU DE VISUALISATION A PLASMA APPORTANT UNE DISTRIBUTION DE POTENTIEL DE SURFACE ADAPTEE FR2840451 DISPOSITIF DE PRODUCTION D'UNE NAPPE DE PLASMA FR2839198 PANNEAU DE VISUALISATION A PLASMA A EXCITATION DES DECHARGES PAR RAYONNEMENT MICRO–ONDE FR2838020 DISPOSITIF DE CONFINEMENT DE PLASMA FR2834477 PROCEDE POUR FABRIQUER UNE FEUILLE PRESENTANT DES PORES TRAVERSANTS ET APPLICATION A LA FABRICATION DE FILTRES MICRONIQUES ET SUBMICRONIQUES FR2834113 DISPOSITIF D'AFFICHAGE A PLASMA ET PROCEDE DE COMMANDE DE CELUI–CI FR2833452 SOURCE D'ELECTRONS FR2809190 PROCEDE DE FABRICATION D'UN MODULATEUR DE TRANSMISSION POUR MICROLITHOGRAPHIE EN ULTRAVIOLET PROFOND ET MODULATEUR OBTENU PAR CE PROCEDE FR2798552 DISPOSITIF ASSURANT UNE DIVISION DE PUISSANCE MICRO–ONDE PREDETERMINEE SUR UNE PLURALITE DE CHARGES, NOTAMMENT POUR LA PRODUCTION DE PLASMA

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