| N° de brevet |
Brevet |
| EP1452851 |
Procédé et dispositif pour la mesure de la contamination d'une surface d'un élément d'un appareil lithographique |
| EP1431828 |
Méthode pour le nettoyage d'une surface d'un élément d'un appareil de projection lithographique, appareil de projection lithographique, méthode pour la fabrication d'un dispositif et système de nettoyage |
| EP1407299 |
ELEMENT DE RETARD EN CRISTAL CUBIQUE ET SYSTEMES OPTIQUES COMPORTANT UN TEL ELEMENT |
| EP1405144 |
CAPTEUR DESTINE A DETERMINER L'ENERGIE DE RAYONNEMENT ET SON UTILISATION A CET EFFET |
| EP1393133 |
SYSTEME DE PROJECTION POUR LITHOGRAPHIE PAR UV EXTREME |
| EP1390813 |
DISPOSITIF D'INSOLATION PAR PROJECTION POUR MICROLITHOGRAPHIE, SYSTEME OPTIQUE, PROCEDE DE FABRICATION D'UN OBJECTIF DE PROJECTION POUR MICROLITHOGRAPHIE ET PROCEDE DE STRUCTURATION MICROLITHOGRAPHIQUE |
| WO2004010200 |
SYSTEMES CATADIOPTRIQUES A MIROIRS MULTIPLES POUR LITHOGRAPHIE PAR PROJECTION |
| WO03040796 |
MIROIR INCLINABLE |
| WO03036359 |
ELEMENT OPTIQUE PRESENTANT UN AXE OPTIQUE |
| EP1304594 |
Appareil d'illumination par projection pour microlithographie à 200 nm |
| WO03032329 |
ELEMENT OPTIQUE, PROCEDE DE FABRICATION DE CELUI–CI, APPAREIL LITHOGRAPHIQUE ET PROCEDE DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF A SEMI–CONDUCTEURS |
| EP1296191 |
Méthode d'optimisation des caractéristiques de formation d'image de plusieurs éléments optiques |
| WO03023521 |
SYSTEME DE ZOOM, EN PARTICULIER, SYSTEME DE ZOOM POUR DISPOSITIF D'ECLAIRAGE D'UN SYSTEME DE PROJECTION MICROLITHOGRAPHIQUE |
| EP1291720 |
Système à zoom pour dispositif d'illumination |
| EP1291719 |
Appareil d'exposition par projection |
| EP1288348 |
Procédé de préparation des monocristaux de fluorure de calcium résistants à la fracture et leurs applications |
| WO03017004 |
ENSEMBLE OPTIQUE |
| WO03016233 |
MATERIAU–SUBSTRAT POUR COMPOSANTS OPTIQUES POUR RAYONS X |
| WO03016977 |
OBJECTIF A OBSCURCISSEMENT DES PUPILLES |
| WO03014833 |
COLLECTEUR EQUIPE DE DISPOSITIFS DE FIXATION SERVANT A FIXER DES COUPES MIROIRS |
| WO03012548 |
SYSTEME PERMETTANT LE CALIBRAGE D'UN SYSTEME OPTIQUE, NOTAMMENT D'UN OBJECTIF |
| WO03012529 |
OBJECTIF, EN PARTICULIER OBJECTIF DE PROJECTION DESTINE A ETRE UTILISE EN LITHOGRAPHIE A SEMI–CONDUCTEUR |
| EP1282011 |
Lentille de projection réflective pour la photolithographie dans l'ultraviolet extrême |
| WO03009021 |
ELEMENT DE RETARD EN CRISTAL CUBIQUE ET SYSTEMES OPTIQUES COMPORTANT UN TEL ELEMENT |
| EP1278094 |
Séparateur de faisceau géométrique et son procédé de production |
| EP1278089 |
Dispositif de lithographie et méthode de fabrication |
| WO03005128 |
CAPTEUR DESTINE A DETERMINER L'ENERGIE DE RAYONNEMENT ET SON UTILISATION A CET EFFET |
| EP1260849 |
Compensateur de polarisation et dispositif de projection microlithographique avec compensateur de polarisation |
| EP1260845 |
Objectif de réduction catadioptrique |
| WO02093257 |
DISPOSITIF D'INSOLATION PAR PROJECTION POUR MICROLITHOGRAPHIE, SYSTEME OPTIQUE, PROCEDE DE FABRICATION D'UN OBJECTIF DE PROJECTION POUR MICROLITHOGRAPHIE ET PROCEDE DE STRUCTURATION MICROLITHOGRAPHIQUE |
| WO02093209 |
OBJECTIF COMPORTANT DES LENTILLES DE CRISTAL DE FLUORURE |
| EP1258780 |
Système optique de formation d'image avec moyens de polarisation et plaque de cristal de quartz pour ceux–ci |
| EP1245982 |
Appareil pour monter un élément optique dans un appareillage optique |
| EP1245983 |
Appareillage pour ajuster des objets et des courses de réglage |
| EP1239278 |
Procédé et dispositif permettant l'évaluation de stries dans un matériau optique |
| EP1237029 |
Méthode d'ajustage d'une lampe par rapport au chemin des rayons d'éclairage d'un microscope et microscope adapté pour cette méthode |
| EP1235113 |
Système d'illumination avec charge énergétique réduite |
| EP1227354 |
Objectif réducteur catadioptrique |
| EP1225481 |
Collecteur pour un système d'illumination |
| EP1223231 |
Dispositif pour le support d'un élément optique en matériau cristallin pendant un procédé de dépot en phase vapeur |
| EP1221634 |
Système d' illumination avec éléments de réseau à dimensions différentes |
| WO02052303 |
OBJECTIF DE PROJECTION |
| EP1217450 |
Intégrateur de lumière pour un dispositif d illumination |
| WO0244786 |
SYSTEME DE PROJECTION CATADIOPTRIQUE POUR UNE LITHOGRAPHIE A 157 NM |
