N° de brevet Brevet
EP1893001 ORGANES DE FIXATION DE LAMPES POUR DES REACTEURS DE TRAITEMENT DE SEMI–CONDUCTEURS
EP1887617 Procédé de dépôt sur des substrats mixtes à l'aide de trisilane
EP1876640 Cassette empilable à utiliser avec des cassettes de plaquettes
EP1866465 SYSTEME DE REACTION DESTINE A CREER UNE COUCHE MINCE
EP1846595 DEPOT SELECTIF DE FILMS CONTENANT DU SILICIUM
EP1846596 PROCEDES DE PREPARATION DE MATERIAUX CONTENANT DU SI CRISTALLIN SUBSTITUTIONNELLEMENT DOPE AU CARBONE PAR DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR
WO2006083909 PROCEDES DE PREPARATION DE MATERIAUX CONTENANT DU SI CRISTALLIN SUBSTITUTIONNELLEMENT DOPE AU CARBONE PAR DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR
WO2006078666 SYSTEME DE REACTION DESTINE A CREER UNE COUCHE MINCE
EP1647046 DEPOT DE SIGE SUR DES STRUCTURES A SILICIUM SUR ISOLANT ET SUR DES SUBSTRATS MASSIFS
EP1604395 PROCEDES DE DEPOT EPITAXIAL DE SEMICONDUCTEUR ET STRUCTURES CORRESPONDANTES
EP1573780 BARBOTEUR POUR TRAITEMENT DE SUBSTRAT
WO2005081283 SYSTÈME SUPPORT DE SUBSTRAT POUR DÉPÔT RÉDUIT D'AUTODOPAGE ET ENVERS
EP1532660 PROCEDE DE CHARGEMENT DE TRANCHE SEMI–CONDUCTRICE SUR UN SUPPORT DE TRANCHE AFIN DE REDUIRE LES CHOCS THERMIQUES
WO2005043613 PORTE–SUBSTRAT
EP1506570 REDUCTION DE CONTAMINATION CROISEE ENTRE DES CHAMBRES DANS UN OUTIL DE TRAITEMENT DE SEMI–CONDUCTEUR
WO2004097897 PROCEDES POUR DEPOSER DES FILMS POLYCRISTALLINS AYANT DES STRUCTURES GRANULAIRES FAÇONNEES
WO2004084268 PROCEDES DE DEPOT EPITAXIAL DE SEMICONDUCTEUR ET STRUCTURES CORRESPONDANTES
WO2004081986 PROCEDE DE PLANARISATION ET DE REDUCTION DE LA DENSITE DES DEFAUTS DU SILICIUM GERMANIUM
WO2004081987 PROCEDE DE RECTIFICATION DE SIGE
EP1421607 PROCEDE AMELIORE PERMETTANT DE DEPOSER DES FILMS SEMI–CONDUCTEURS
WO2004019375 STRUCTURES COLLEES DESTINEES A ETRE UTILISEES DANS DES ENVIRONNEMENTS DE TRAITEMENT DE SEMI–CONDUCTEURS
WO2004010473 BARBOTEUR POUR TRAITEMENT DE SUBSTRAT
WO2004009861 PROCEDE DE FORMATION DE COUCHES DE COMPOSE AU SILICIUM DE QUALITE ULTRA–HAUTE
EP1374290 PROCEDE AMELIORE DE DEPOT DE FILMS SEMI–CONDUCTEURS
EP1374291 METHODE DE DEPOSITION SUR SUBSTRATS MIXTES UTILISANT DU TRISILANE
EP1344247 PREPARATION DE SURFACE AVANT DEPOT
WO03025243 DEPOT DE NITRURE METALLIQUE PAR DEPOT PAR COUCHE ATOMIQUE (ALD) AVEC IMPULSION DE REDUCTION
WO03016587 REACTEUR DE DEPOT DE COUCHE ATOMIQUE
WO03004723 ASSEMBLAGE DE CONTENANT POUR PRODUIT CHIMIQUE SOURCE
WO02097869 PROCEDE ET APPAREIL PERMETTANT DE CORRIGER LE DEPLACEMENT D'UNE TRANCHE
WO02067319 STRUCTURE D'INTERCONNEXION EN CUIVRE POSSEDANT UNE BARRIERE DE DIFFUSION SOUDEE
WO02065516 PROCEDE AMELIORE DE DEPOT DE FILMS SEMI–CONDUCTEURS
WO02065525 PROCEDE D'INTEGRATION D'UN DIELECTRIQUE DE GRILLE POSSEDANT UNE CONSTANTE ELEVEE
EP1221177 COUCHES DE GARNISSAGE, A CARACTERISTIQUES UNIFORMES, DESTINEES A UNE METALLISATION DE DAMASQUINAGE
EP1221178 PROCEDE DE DEPOT DE COUCHES MINCES NANOSTRATIFIEES SUR DES SURFACES SENSIBLES
EP1216106 APPAREIL ET PROCEDE AMELIORES DESTINES A LA CROISSANCE D'UN FILM MINCE
WO0243115 PREPARATION DE SURFACE AVANT DEPOT
EP1206799 PROCEDE DE DEPOT SANS FOND DE COUCHES BARRIERES DANS DES SYSTEMES DE METALLISATION DE CIRCUITS INTEGRES
WO0222469 SAS DE CHARGEMENT A ENCEINTE DE NETTOYAGE PREALABLE
EP1166333 SYSTEME D'OUVERTURE DE PORTE DE BOITIER UNIFIE A OUVERTURE FRONTALE A COMMANDE UNIQUE, DOTE DE PLUSIEURS ETAGES
WO0178115 REVETEMENT DE SEPARATION DESTINE A DES MATERIAUX VITREUX
WO0166832 FILMS MINCES CALIBRES
EP1129010 CASSETTE EMPILABLE CON UE POUR ETRE UTILISEE AVEC DES CASSETTES POUR PLAQUETTES
WO0136706 SYSTEME D'EVACUATION POUR REACTEUR DE DEPOSITION EN PHASE VAPEUR
EP1097252 CHAMBRE DE CHARGEMENT/VERROUILLAGE A PLUSIEURS POSITIONS
WO0129893 PROCEDE DE DEPOT DE COUCHES MINCES NANOSTRATIFIEES SUR DES SURFACES SENSIBLES
WO0117692 APPAREIL ET PROCEDE AMELIORES DESTINES A LA CROISSANCE D'UN FILM MINCE
EP1060287 PROCEDE DE DEPOT DE SILICIUM, A POUVOIR COUVRANT ELEVE
EP1044291 CROISSANCE IN SITU DE COUCHES D'OXYDE ET DE SILICIUM
EP1038314 SYSTEME DE TRANSFERT DE SUBSTRAT POUR EQUIPEMENT DE TRAITEMENT DE SEMI–CONDUCTEURS
EP1029109 CHAMBRE DE TRAITEMENT HAUTE TEMPERATURE A LONGUE DUREE DE VIE
WO0016380 PROCEDE ET APPAREIL POUR REFROIDIR DES SUBSTRATS
WO9945167 PROCEDE DE DEPOT DE SILICIUM, A POUVOIR COUVRANT ELEVE SUR LES GRADINS
WO9923276 CHAMBRE DE TRAITEMENT HAUTE TEMPERATURE A LONGUE DUREE DE VIE
EP0879547 REGULATION PREDICTIVE DE TRAITEMENT THERMIQUE BASEE SUR UN MODELE
FR2574319 APPAREIL POUR LE TRAITEMENT DE PUCES A SEMI–CONDUCTEURS ET ARTICLES SIMILAIRES
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