N° de brevet
Brevet
WO2008028170
DISTRIBUTION DE FLUIDE FONDÉE SUR DES PRÉCURSEURS SOLIDES, FAISANT INTERVENIR DES SOLIDES À MORPHOLOGIE CONTRÔLÉE
WO2007147020
PRÉCURSEURS AU COBALT UTILES POUR FORMER DES FILMS CONTENANT DU COBALT SUR DES SUBSTRATS
WO2007142700
AMIDINATES ET GUANIDINATES DE CUIVRE (I) POUR FORMER DE MINCES FILMS DE CUIVRE
WO2006138505
COMPOSITIONS DE FLUIDE DENSE POUR L'ELIMINATION DE PHOTORESINE DURCIE, DE RESIDU POST–GRAVURE ET/OU DE COUCHES DE REVETEMENT ANTIREFLET DE FOND
WO2006009590
COMPOSES DE CUIVRE (I) DESTINES A ETRE UTILISES COMME PRECURSEURS DE DEPOT DE COUCHES MINCES DE CUIVRE
WO2006007077
COMPOSITION ET PROCEDE DE DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR A BASSE TEMPERATURE DE FILMS CONTENANT DU SILICIUM COMPRENANT DES FILMS DE CARBONITRURE DE SILICIUM ET D'OXYCARBONITRURE DE SILICIUM
WO2005081933
PROCEDE DE DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR DE CONDUCTIVITE ELEVEE, FILMS MINCES ADHERENTS DE RUTHENIUM
WO2005054405
ENLEVEMENT DE COUCHES SACRIFICIELLES SUR LES SYSTEMES MICRO–ELECTROMECANIQUES AU MOYEN D'UN FLUIDE SUPERCRITIQUE OU DE FORMULATIONS CHIMIQUES
WO2005010230
SYSTEMES DE DELIVRANCE POUR LA VAPORISATION EFFICACE DE MATERIAU SOURCE PRECURSEUR
WO2005004199
COMPOSITIONS ET METHODES DESTINEES AU NETTOYAGE/POLISSAGE A HAUT RENDEMENT DE PLAQUETTES SEMI–CONDUCTRICES
WO0174824
PROCEDE CHIMIQUE D'ELIMINATION ET D'ANALYSE D'IMPURETES DE BORE DANS DU TETRAETHYLORTHOSILICATE (TEOS)
WO0168948
COMPLEXES DE PYRAZOLATE DE CUIVRE ET DEPOT CHIMIQUE METALORGANIQUE EN PHASE VAPEUR DU CUIVRE FAISANT INTERVENIR LESDITS COMPLEXES
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