N° de brevet Brevet
EP1875292 SYSTEME D'ECLAIRAGE POUR APPAREIL D'EXPOSITION MICROLITHOGRAPHIQUE
WO2008000437 ÉLÉMENT OPTIQUE RÉFLECTIF ET PROCÉDÉ POUR SA CARACTÉRISATION
WO2007144125 DISPOSITIF DE REPRODUCTION
EP1846791 AMORTISSEMENT DE VIBRATIONS POUR MONTURE D'OBJECTIF DE PHOTOLITHOGRAPHIE
EP1844365 OBJECTIF DE PROJECTION CATADIOPTRIQUE AVEC IMAGE INTERMEDIAIRE
EP1840622 Objectif de projection et installation d'exposition de projection à distance focale négative de la pupille d'entrée
EP1839092 SYSTEME OPTIQUE DE PROJECTION
EP1837695 Système catadioptrique avec séparateur de faisceau
EP1835312 Dispositif d'illumination d'un appareil de projection en microlithographie ayant un élément optique fait dans un cristal uniaxe ayant une pluralité de structures réfractives ou diffractives s'étendant selon un axe qui est parallèle ou perpendiculaire à l'axe du cristal
EP1828829 OBJECTIF A GRANDE OUVERTURE ET PUPILLE OBSCURCIE
EP1820050 ELEMENT OPTIQUE D'EMISSION ET OBJECTIF DESTINE A UN APPAREIL D'EXPOSITION PAR PROJECTION MICROLITHOGRAPHIQUE
EP1812935 SURFACE OPTIQUE DE HAUTE PRECISION PREPAREE PAR AFFAISSEMENT SUR UNE PIECE FORMANT MOULE
EP1805544 STABILISATEUR D'ACTIONNEUR À SIX DEGRÉS DE LIBERTÉ
EP1803012 SYSTEME DE PROJECTION OPTIQUE
EP1772775 Dispositif à objectif de réduction microlithographique tout comme installation d'éclairage à projection
EP1771771 OBJECTIF DE PROJECTION CATADIOPTRIQUE
EP1759248 SYSTEME DE PROJECTION AVEC COMPENSATION DES VARIATIONS D'INTENSITE ET ELEMENT DE COMPENSATION POUR CE SYSTEME
EP1751601 OBJECTIF DE PROJECTION CATADIOPTRIQUE AVEC IMAGES INTERMEDIAIRES
WO2006133884 ELEMENT OPTIQUE A REVETEMENT ANTIREFLECHISSANT, OBJECTIF DE PROJECTION ET APPAREIL D'EXPOSITION COMPRENANT UN TEL ELEMENT
EP1733271 OBJECTIF DE PROJECTION CATADIOPTRIQUE
EP1733272 OBJECTIF DE PROJECTION CATADIOPTRIQUE A ENSEMBLE DE MIROIRS
WO2006125609 PROCEDE D'ALIGNEMENT D'UN SYSTEME OPTIQUE
WO2006125600 DISQUE DE DIFFUSION OPTIQUE, SON UTILISATION, ET APPAREIL DE MESURE DE FRONT D'ONDES
EP1725910 DISPOSITIF CONSTITUE D'AU MOINS UN ELEMENT OPTIQUE
WO2006119977 SYSTEME DE PROJECTION EUV A SIX MIROIRS COMPRENANT DES ANGLES DE FAIBLE INCIDENCE
WO2006114294 SYSTEME D'ECLAIRAGE POUR APPAREIL D'EXPOSITION MICROLITHOGRAPHIQUE
EP1716457 ELEMENT OPTIQUE DE MODULATION DE POLARISATION
WO2006111185 PROCEDE PERMETTANT DE CONNECTER DEUX ELEMENTS D'UN COMPOSANT OPTIQUE
EP1709472 OBJECTIF DE PROJECTION CATADIOPTRIQUE
EP1700167 APPAREIL DE REMPLACEMENT POUR ELEMENT OPTIQUE
EP1697798 OBJECTIF DE PROJECTION A GRANDE OUVERTURE ET SURFACE D'EXTREMITE PLANE
WO2006084657 AMORTISSEMENT DE VIBRATIONS POUR MONTURE D'OBJECTIF DE PHOTOLITHOGRAPHIE
EP1690139 SYST ME OPTIQUE DE PROJECTION
EP1686405 Objectif de réduction microlithographique comprenant cinq groupes de lentilles
EP1678558 DISPOSITIF DE CHANGEMENT DE DIAPHRAGME
EP1678559 ENSEMBLE OPTIQUE DESTINE A LA PHOTOLITHOGRAPHIE
WO2006069795 SYSTEME OPTIQUE DE PROJECTION
WO2006069725 OBJECTIF A GRANDE OUVERTURE ET PUPILLE OBSCURCIE
WO2006061225 ELEMENT OPTIQUE D'EMISSION ET OBJECTIF DESTINE A UN APPAREIL D'EXPOSITION PAR PROJECTION MICROLITHOGRAPHIQUE
EP1668662 SYSTEMES ET DISPOSITIFS D'OPTIQUE PARTICULAIRE ET COMPOSANTS D'OPTIQUE PARTICULAIRE POUR DE TELS SYSTEMES ET DISPOSITIFS
EP1668419 SOUS–ENSEMBLE OPTIQUE ET OBJECTIF DE PROJECTION POUR LITHOGRAPHIE DE SEMI–CONDUCTEURS
EP1664880 APPAREIL POUR MANIPULER UN ELEMENT OPTIQUE
EP1664933 OBJECTIF DE PROJECTION POUR EUV COMPORTANT DES MIROIRS CONSTITUES DE MATERIAUX PRESENTANT DES SIGNES DE GRADIENT DE LA DEPENDANCE VIS–A–VIS DE LA TEMPERATURE DU COEFFICIENT DE DILATATION THERMIQUE A PROXIMITE DE LA TEMPERATURE DE PASSAGE PAR ZERO DIFFERENTS
WO2006050891 SURFACE OPTIQUE DE HAUTE PRECISION PREPAREE PAR AFFAISSEMENT SUR UNE PIECE FORMANT MOULE
EP1654577 OBJECTIFS DE PROJECTION COMPORTANT UNE PLURALITE DE MIROIRS COURBES AVEC DES LENTILLES A L'AVANT DU PENULTIEME MIROIR
EP1649324 SYSTEME D'ECLAIRAGE POUR MICROLITHOGRAPHIE
EP1642173 MIROIRS A FACETTES ET PROCEDE DE PRODUCTION DE FACETTES DE MIROIR
EP1639393 DISPOSITIF DE CORRECTION POUR LA COMPENSATION DE PERTURBATIONS DE LA REPARTITION DE POLARISATION, AINSI QU'OBJECTIF DE PROJECTION POUR LA MICROLITHOGRAPHIE
WO2006021540 SYSTEME OPTIQUE, PRECISEMENT OBJECTIF OU DISPOSITIF D'ECLAIRAGE D'UNE INSTALLATION D'EXPOSITION PAR PROJECTION MICROLITHOGRAPHIQUE
EP1614007 SYSTEME OPTIQUE, PROCEDE DE MODIFICATION DE SES CARACTERISTIQUES DE RETARD ET OUTIL DE PHOTOLITHOGRAPHIE
WO2005114101 PROCEDE DE FABRICATION D'ELEMENT OPTIQUE
EP1598681 Composant optique ayant une surface courbée et un revêtement multicouche
WO2005098506 OBJECTIF DE PROJECTION CATADIOPTRIQUE
EP1586923 Méthode de fabrication d'une composante optique et système optique l'utilisant
EP1586946 Système optique d'un appareil de projection microlithographique
EP1565769 LENTILLE DE PROJECTION DOTEE D'UN DIAPHRAGME DE FORME NON CIRCULAIRE POUR MICROLITHOGRAPHIE
EP1564594 Objectif de projection pour la microlithographie
WO2005069081 ELEMENT OPTIQUE DE MODULATION DE POLARISATION
EP1554622 DISPOSITIF POUR LOGER UN ELEMENT SEPARATEUR DE FAISCEAUX
WO2005064404 APPAREIL DE REMPLACEMENT POUR ELEMENT OPTIQUE
WO2005059645 OBJECTIF DE PROJECTION DE MICROLITHOGRAPHIE COMPRENANT DES ÉLÉMENTS CRISTALLINS
WO2005058544 DISPOSITIF ET PROCEDE DE SURFACAGE
EP1544676 Objectif de projection refractif pour lithographie par immersion
WO2005054956 SYSTÈME OPTIQUE DE PROJECTION
EP1540423 FILTRE SPECTRAL A RESEAU SERVANT A ELIMINER LE RAYONNEMENT HORS–BANDE DANS UN SYSTEME DE LITHOGRAPHIE PAR ULTRAVIOLETS EXTREMES
EP1537449 OBJECTIF DE PROJECTION CATADIOPTRIQUE ET PROCEDE DE COMPENSATION DE LA BIREFRINGENCE INTRINSEQUE DANS UN TEL OBJECTIF
WO2005050322 DISPOSITIF DE CHANGEMENT DE DIAPHRAGME
WO2005050321 OBJECTIF DE PROJECTION REFRACTIF DESTINE A LA LITHOGRAPHIE A IMMERSION
WO2005050323 ENSEMBLE OPTIQUE DESTINE A LA PHOTOLITHOGRAPHIE
EP1535100 OBJECTIF A LENTILLES BIREFRINGENTES
EP1532490 SYSTEME DE REPRODUCTION OPTIQUE, EN PARTICULIER OBJECTIF DE PROJECTION CATADIOPTRIQUE
EP1532488 SYSTEME PARTIEL OPTIQUE NOTAMMENT DESTINE A UN DISPOSITIF D'ECLAIRAGE DE PROJECTION COMPORTANT AU MOINS UN ELEMENT OPTIQUE POUVANT ETRE AMENE DANS AU MOINS DEUX POSITIONS
EP1532485 DISPOSITIF POUR RENDRE ETANCHE UN DISPOSITIF D'ECLAIRAGE PAR PROJECTION
EP1530737 OBJECTIF DE REDUCTION CATADIOPTRIQUE COMPORTANT UN DIVISEUR DE FAISCEAU A POLARISATION
WO2005040928 OBJECTIF DE PROJECTION COMPACTE POUR LITHOGRAPHIE ARF
WO2005040925 OBJECTIF DE PROJECTION POUR EUV COMPORTANT DES MIROIRS CONSTITUES DE MATERIAUX PRESENTANT DES SIGNES DE GRADIENT DE LA DEPENDANCE VIS–A–VIS DE LA TEMPERATURE DU COEFFICIENT DE DILATATION THERMIQUE A PROXIMITE DE LA TEMPERATURE DE PASSAGE PAR ZERO DIFFERENTS
EP1524558 Appareil lithographique et procédé pour la production d'un dispositif
EP1523699 OBJECTIF DE PROJECTION POUR DISPOSITIF D'EXPOSITION PAR PROJECTION
EP1523692 OBJECTIF DE PROJECTION CATADIOPTRIQUE
EP1524557 Appareil lithographique et méthode de fabrication d'un dispositif
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