N° de brevet
Brevet
EP1894675
Appareil de polissage double face
EP1795302
Méthode pour polir des pièces
EP1785228
Dispositif et procédé pour le polissage d'un pièce à travailler utilisant de l'eau réduite électrolytiquement
EP1775068
Méthode pour adhérer des disques de polissage et gabarit pour adhérer le même
EP1688218
Dispositif de polissage
EP1625915
Appareil de polissage double face des pièces minces, telles que des plaquettes semiconductrices
EP1582293
Dispositif de polissage
EP1582294
Procédé et dispositif d'aspiration d'eau
EP1533077
Appareil de polissage et procédé de polissage de pièces
EP1413396
Machine de polissage et procédé de polissage de pièces
EP1252974
Support de plateau de polissage
EP1217322
Echangeur de chaleur
EP1182007
Tête de support avec anneau élastique
EP1110668
Support de plaquette sémiconductrice pour machine de polissage
EP0734811
Méthode et dispositif de polissage miroir du chanfrein d'une plaquette munie d'un méplat d'orientation
EP0720891
Dispositif de polissage
EP0687524
Méthode et appareil pour un polissage de superfinition d'une portion d'un wafer
EP0650804
Dispositif de polissage pour l'encoche d'une plaquette semi–conductrice.
EP0646436
Dispositif de polissage de la portion périphérique d'une plaquette semi–conductrice.
EP0633097
Dispositif de polissage pour l'encoche d'une plaquette semi–conductrice.
EP0629470
Appareil pour polir une entaille d'un wafer.
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