N° de brevet Brevet
WO2008027186 PROCÉDÉ INTÉGRÉ POUR LA PULVÉRISATION CATHODIQUE D'UNE COUCHE BARRIÈRE CONDUCTRICE, NOTAMMENT D'UN ALLIAGE DE RUTHÉNIUM ET DE TANTALE, SOUS–JACENTE À UNE COUCHE D'ENSEMENCEMENT DE CUIVRE OU D'ALLIAGE DE CUIVRE
WO2008025030 procédé et système pour le traitement sur place des fluides de polissage de substrats
WO2008024874 PROCÉDÉ DE MESURE DES QUANTITÉS PRÉCURSEURS DANS DES SOURCES À BARBOTAGE
WO2008021216 PROCÉDÉS ET APPAREILS POUR UN POIGNET ROBOTIQUE
WO2008016569 MÉTHODES ET APPAREILS D'ANALYSE IN SITU DE GAZ DANS DES SYSTÈMES DE FABRICATION DE DISPOSITIFS ÉLECTRONIQUES
WO2008013902 PROCÉDÉS ET APPAREILS POUR UNE FABRICATION PERFECTIONNÉE DE FILTRES DE COULEUR
WO2008014040 APPAREIL ET PROCÉDÉ DE REVÊTEMENT DE SUBSTRATS AVEC ISOLATION DE PROCESSUS APPROXIMATIVE
WO2008008822 DISQUE DE CONDITIONNEMENT POSSÉDANT DES STRUCTURES UNIFORMES
WO2008008711 TRAITEMENT PAR ÉCHANGE IONIQUE D'UNE BOUE DE POLISSAGE MÉCANIQUE ET CHIMIQUE
WO2008008727 PROCÉDÉ DE PLANIFICATION POUR ÉQUIPEMENT DE TRAITEMENT
WO2008005951 TAMPON DE POLISSAGE À FENÊTRE COMPRENANT UNE PLURALITÉ DE PARTIES
WO2008005892 FORMATION DE NANOCRISTAUX
WO2008005216 couche métallique d'induction de contrainte dans Le silicium
WO2008005773 outil multiposte pour un traitement frontal avancé
WO2008002812 MAINTIEN D'UN ÉLECTROLYTE SUR UN PLATEAU ROTATIF PAR ÉCOULEMENT D'AIR DIRECTIONNEL
WO2008002811 PROCÉDÉ DE NETTOYAGE DE TAMPONS
EP1872397 RECUIT LASER A FLUX THERMIQUE DE LONGUEUR D'ONDE DOUBLE
EP1869760 FABRICATION D'UNE CELLULE PHOTOVOLTAIQUE EXTENSIBLE ET D'UN PANNEAU SOLAIRE AVEC CABLAGE AMELIORE
WO2007145904 PROCÉDÉS ET APPAREIL POUR SUPPORTER UN SUBSTRAT DANS UNE ORIENTATION HORIZONTALE PENDANT LE NETTOYAGE DE CELUI–CI
EP1866956 PROCEDES DE DEPOT CVD THERMIQUE DE SILICIUM A GRAINS HEMISPHERIQUES ET POLYSILICIUM A TAILLE DU GRAIN NANOCRISTALLINE SUR UNE PLAQUETTE UNIQUE
WO2007143567 chambre À verrouillage de chargement À fentes multiples et procÉdÉ de fonctionnement
WO2007142850 COMMANDE D'ÉCOULEMENT GAZEUX PAR DES MESURES DE PRESSION DIFFÉRENTIELLE
WO2007143476 APPAREIL ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT INDIVIDUEL
WO2007133543 SIGNATURES DE DÉFAILLANCES CADRÉES POUR DIAGNOSTIC DE DÉFAILLANCES
WO2007131040 PROCEDE ET APPAREIL POUR LA PHOTO–EXCITATION DE PRODUITS CHIMIQUES POUR UN DEPOT PAR COUCHE ATOMIQUE D'UN FILM DIELECTRIQUE
WO2007130916 PROCÉDÉ DE FORMATION DE JONCTIONS TRÈS PEU PROFONDES À L'AIDE D'UN FILM DE SI ALLIÉ À DU CARBONE
WO2007126815 PROCÉDÉS ET APPAREIL DE POLISSAGE DU BORD D'UN SUBSTRAT
WO2007127947 CHAMBRE DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT AVEC ENSEMBLE DE LAMPE À DÉCHARGE À BARRIÈRE DIÉLECTRIQUE
WO2007127201 APPAREIL POUR UN TRAITEMENT DE SUBSTRAT UNIQUE AVEC DE MULTIPLES PRODUITS CHIMIQUES ET PROCÉDÉ D'UTILISATION
EP1851788 PROCEDE D'OXYDATION DE GRILLE PAR PLASMA METTANT EN OEUVRE UNE SOURCE D'ENERGIE RF PULSEE
EP1852694 Surveillance du traitement de substrats par le rayonnement réfléchi
EP1848550 TRAITEMENT DE MORDANÇAGE DE SURFACES DE SUBSTRATS ET DE CHAMBRES
WO2007120357 TRAITEMENT ELECTROCHIMIUQE AVEC CONTROLE DYNAMIQUE DU PROCEDE
WO2007121177 Planarisation de substrats à vitesse de polissage élevée utilisant un polissage mécano–électrochimique
WO2007120276 APPAREIL ET PROCÉDÉ DE NETTOYAGE DE FILM DIÉLECTRIQUE
WO2007118204 OXYDES CONDUCTEURS TRANSPARENTS POUR PULVÉRISATION RÉACTIVE D'OXYDE DE ZINC SUR DES SUBSTRATS A GRANDE SURFACE
WO2007118252 ARCHITECTURE DE SYSTÈME ET RÉALISATION DE PANNEAUX SOLAIRES
WO2007117576 COLLECTEURS DE GAZ S'UTILISANT PENDANT LA FORMATION D'UN FILM ÉPITAXIAL
WO2007117583 OUTIL COMBINÉ POUR FORMATION DE COUCHE ÉPITAXIALE
WO2007114964 PROCÉDÉ DE RÉGLAGE DE TEMPS DE TRAITEMENT D'UN SUBSTRAT DANS UN SYSTÈME DE POLISSAGE DE SUBSTRAT
WO2007111676 PROCÉDÉ DE PLAQUAGE DIRECT DE CUIVRE SUR UNE STRUCTURE DE SUBSTRAT
WO2007111679 PROCEDE DE DEPOT SELECTIF D'UN MATERIAU EN COUCHE MINCE A UNE INTERFACE DE SEMI–CONDUCTEUR
WO2007109464 PROCÉDÉS D'ATTAQUE D'UNE COUCHE DE REVÊTEMENT ANTI–RÉFLÉCHISSANT DE FOND DANS UNE APPLICATION DE DOUBLE DAMASQUINAGE
WO2007109356 DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE GRAVURE D'EMPILEMENTS DE GRILLES DE MÉMOIRE FLASH COMPRENANT UNE CONSTANTE DIÉLECTRIQUE ÉLEVÉE
WO2007109501 NOUVELLE SOLUTION DE RINÇAGE PERMETTANT D'ÉLIMINER UNE CONTAMINATION CROISÉE
WO2007109082 PROCÉDÉ ET APPAREIL PERMETTANT D'AMÉLIORER LE FONCTIONNEMENT D'UN SYSTÈME DE FABRICATION DE DISPOSITIF ÉLECTRONIQUE
WO2007109432 PROCÉDÉS ET APPAREIL POUR ÉLECTROTRAITEMENT AVEC CONTACT SOUS CHARGE EN RETRAIT
WO2007106759 PROCÉDÉ DESTINÉ À RÉDUIRE LA DIAPHONIE DANS UN SYSTÈME DE MISE À L'ÉPREUVE DE FAISCEAU ÉLECTRONIQUE MULTI–COLONNE
WO2007106180 FORMATION DE CÂBLAGE ET DE CONTACTS PHOTOVOLTAÏQUES
WO2007102882 CIBLE DE PULVERISATION CATHODIQUE A ZONES MULTIPLES OBTENUE PAR COLLAGE CONDUCTEUR ET ISOLANT
WO2007103399 SYSTÈME ET PROCÉDÉ PERMETTANT DE RÉDUIRE LES FAUSSES ALERTES EN PRÉSENCE DE SIGNAUX ALÉATOIRES
EP1831658 FILTRAGE PASSE–BANDE MULTIPLE POUR PYROMETRIE DANS DES SYSTEMES DE RECUIT A BASE DE LASER
EP1833079 Procédé et appareillage pour le traitement de plaquettes
EP1828680 CONCEPTION D'UN REACTEUR REDUISANT LE DEPOT DE PARTICULES PENDANT LE PROCESSUS DE REDUCTION
EP1828428 CHAMBRE DE DEPOT PHYSIQUE EN PHASE VAPEUR PRESENTANT UNE CIBLE REGLABLE
WO2007097822 AMÉLIORATION DE SOURCES DISTANTES DE PLASMA POUR NETTOYER LES FILMS DIÉLECTRIQUES
EP1824637 DETECTION RAPIDE DE PANNE IMMINENTE DANS LE TRAITEMENT THERMIQUE LASER D'UN SUBSTRAT
WO2007087067 PRE–NETTOYAGE AU PLASMA A DISTANCE AVEC UNE FAIBLE PRESSION EN HYDROGENE
WO2007084124 CAPTEURS DESTINES A UNE DETECTION DYNAMIQUE D'UNE RUPTURE OU D'UNE ERREUR D'ALIGNEMENT D'UN SUBSTRAT MOBILE
WO2007078406 PROCEDES ET APPAREIL POUR OUVRIR ET FERMER DES SUPPORTS DE SUBSTRAT
EP1806525 Porte courbée de vanne à fente avec des raccords flexibles
WO2007070353 PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT D'UN SUBSTRAT
WO2007067606 TECHNIQUE EN COURANT CONTINU POUR ÉLIMINER TOUTE AMBIGUÏTÉ DE PHASE DANS DES SIGNAUX DE SÉQUENCEMENT
WO2007061579 ELEMENTS DE CHAMBRE POURVUS D'ENROBAGES POLYMERES ET PROCEDES DE FABRICATION CORRESPONDANTS
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EP1787315 APPAREIL DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT SEMI–CONDUCTEUR ET PROCEDE IDOINE
WO2007056019 ELIMINATION DE MATERIAUX CONTENANT DES MATIERES ORGANIQUES DES SURFACES DE SUBSTRATS DE DISPOSITIFS ELECTRONIQUES PAR ATTAQUE CHIMIQUE ET NETTOYAGE
WO2007050309 CHAMBRE DE TRAITEMENT DE SEMI–CONDUCTEURS
EP1778896 PROCEDE DE TRAITEMENT DE SURFACE A COUCHE BARRIERE POUR PERMETTRE LE CUIVRAGE DIRECT SUR UN METAL BARRIERE
WO2007047215 NETTOYAGE D'ENSEMBLE CONTACT DANS UN DISPOSITIF DE TRAITEMENT MECANIQUE ELECTROCHIMIQUE
WO2007047454 PROCEDE ET COMPOSITION DE POLISSAGE MECANIQUE ELECTROCHIMIQUE
WO2007044248 SOURCE À BASSE TENSION COUPLÉE INDUCTIVEMENT POUR TRAITEMENT PAR PLASMA
WO2007044232 PRETRAITEMENT POUR ELIMINER LES DEFAUTS FORMES AU COURS DU PROCESSUS DE REVETEMENT ELECTROLYTIQUE
WO2007044555 SYSTEME ET PROCEDE DESTINES A FABRIQUER UNE INTERCONNEXION AMELIOREE DE PHOTOPILE EN COUCHE MINCE
WO2007041041 FENETRE RF MULTICOUCHE SOUDEE
WO2007040970 PROCEDES ET APPAREIL DE NETTOYAGE DE TETES D'IMPRESSION A JET D'ENCRE
WO2007041059 MODULE DE REFROIDISSEMENT POUR ELEMENTS DE COLONNES A FAISCEAUX DE PARTICULES CHARGEES
WO2007038647 PROCEDES ET APPAREIL DE COUPLAGE D'EQUIPEMENT DE FABRICATION DE DISPOSITIF A SEMI–CONDUCTEUR AUX INSTALLATIONS D'UN LIEU DE FABRICATION
WO2007038635 TRAITEMENT A L'HYDROGENE SERVANT A AMELIORER L'ADHERENCE D'UNE RESINE PHOTOSENSIBLE ET LA CONSISTANCE DE LA REPRISE
WO2007038134 METHODE D'ALIGNEMENT D'UN MOTIF GENERE PAR UN FAISCEAU DE PARTICULES SUR UN MOTIF SITUE SUR UN SUBSTRAT COMPRENANT DES MOTIFS PREFORMES
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