N° de brevet
Brevet
WO2008022560
COMPOSITIONS PERMETTANT D'ÉLIMINER DES RÉSIDUS DE GRAVURE
EP1884989
Dispositif semi–conducteur et son procédé de fabrication
EP1883863
COMPOSITIONS POUR LA SUPPRESSION DE SUBSTANCES POST–GRAVURE, DE RESIDUS DE PHOTORESIST EN CENDRES ET DE MASSE DE PHOTORESIST
EP1877870
DECAPANT PHOTORESISTANT NON AQUEUX EMPECHANT LA CORROSION GALVANIQUE
EP1875493
COMPOSITION PERMETTANT D'ELIMINER UNE PHOTORESINE A IMPLANTATION IONIQUE DANS DES APPLICATIONS FEOL
WO2007148574
AGENT DE DÉCAPAGE DE RESIST
WO2007148470
APPAREIL DE TRAITEMENT, PROCÉDÉ DE TRAITEMENT ET SOURCE DE PLASMA
EP1860508
Composition et procédé de suppression photosensible
WO2007129389
LIGNE DE RETRAIT DE RESIST
EP1853973
PROCEDE POUR RETIRER DE LA RESINE, UN RESIDU DE GRAVURE ET DE L'OXYDE DE CUIVRE SUR DES SUBSTRATS PRESENTANT DU CUIVRE ET UNE MATIERE DIELECTRIQUE A FAIBLE
WO2007123198
APPAREIL DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE SUBSTRAT
EP1847876
SOLUTION D' ELIMINATION D'UNE PREPARATION PHOTOSENSIBLE
EP1847878
SOLUTION D' ELIMINATION D'UNE PREPARATION PHOTOSENSIBLE
EP1844367
COMPOSITION PERMETTANT D'ENLEVER LE PHOTORESIST APRES L'ATTAQUE CHIMIQUE ET REVETEMENTS ANTIREFLETS INFERIEURS
WO2007114448
Procédé de lavage du substrat d'un dispositif
EP1843208
Appareil de décapage de résines photosensibles, procédé pour le recyclage du décapant et procédé de fabrication d'un panneau à réseau de transistors à couche mince utilisant l'appareil de décapage de résines photosensibles
EP1840659
Composition pour substrats de nettoyage microélectroniques contenant des acides oxygène halogène et leurs dérivés
EP1836535
COMPOSITIONS DE NETTOYAGE MICROELECTRONIQUE NON AQUEUSES ET NON CORROSIVES
EP1832932
LIQUIDE DE NETTOYAGE POUR LITHOGRAPHIE ET PROCEDE DE NETTOYAGE L'UTILISANT
EP1828848
COMPOSITIONS NON AQUEUSES ET NON CORROSIVES DE NETTOYAGE EN MICROELECTRONIQUE CONTENANT DES INHIBITEURS DE CORROSION POLYMERES
WO2007097233
LIQUIDE DE NETTOYAGE POUR LITHOGRAPHIE ET PROCEDE DE NETTOYAGE L'UTILISANT
WO2007086662
PROCÉDÉ D'ÉLIMINATION D'UNE PHOTORÉSINE ET APPAREIL ASSOCIÉ
WO2007074862
LIQUIDE NETTOYANT POUR PHOTOLITHOGRAPHIE ET PROCEDE DE MISE EN CIRCULATION ET D'UTILISATION DE CE LIQUIDE
EP1794783
UTILISATION DE L'OZONE DANS LA FABRICATION DE COMPOSANTS DE TYPE TRANCHE
WO2007063576
PROCÉDÉ POUR DÉTACHER UN ENDUIT PROTECTEUR ET DISPOSITIF POUR DÉTACHER UN ENDUIT PROTECTEUR
WO2007063985
LIQUIDE DE NETTOYAGE POUR PHOTOLITHOGRAPHIE ET PROCÉDÉ DE NETTOYAGE DE SUBSTRAT L'UTILISANT
WO2007063767
SOLUTION DE NETTOYAGE POUR DISPOSITIF À SEMI–CONDUCTEUR OU DISPOSITIF D'AFFICHAGE ET PROCÉDÉ DE NETTOYAGE
WO2007062111
PROCEDE D'ELIMINATION DE MATIERE A PARTIR DE SUBSTRATS
EP1789527
COMPOSITIONS DE NETTOYAGE POUR SUBSTRATS MICROÉLECTRONIQUES
WO2007058443
COMPOSITION DE DILUANT PERMETTANT D'ELIMINER LA PHOTORESINE
EP1787168
SOLUTIONS NETTOYANTES NON AQUEUSES ET CONTENANT DU FRUCTOSE POUR DES APPLICATIONS EN MICROÉLECTRONIQUE
EP1788436
Procédé de retouche pour films de photoréserves
WO2007056369
DECAPAGE A SEC D'UN LOT DE RESINE PHOTOSENSIBLE, SYSTEME A CENDRES ET PROCEDE
EP1784690
APPAREIL ET PROCEDE D'INCINERATION AU PLASMA POUR AMELIORER LE TAUX D'ELIMINATION DE PHOTORESINE
WO2007046655
COMPOSITION DECAPANTE DESTINEE A ELIMINER DES RESIDUS DE GRAVURE A SEC ET PROCEDE DE DECAPAGE
EP1775339
Produit de nettoyage aqueux et procédé d'utilisation correspondant
WO2007038635
TRAITEMENT A L'HYDROGENE SERVANT A AMELIORER L'ADHERENCE D'UNE RESINE PHOTOSENSIBLE ET LA CONSISTANCE DE LA REPRISE
EP1770753
Plaque de distribution activement refroidie pour réduire la température des gaz réactifs dans un système de traitement par plasma
EP1770446
Composition décapante aqueuse
WO2007029767
AGENT DE LAVAGE POUR PHOTOLITHOGRAPHIE ET PROCÉDÉ POUR FORMER UN MOTIF DE PHOTORÉSINE UTILISANT CELUI–CI
WO2007025675
SOLUTION AQUEUSE ET PROCÉDÉ POUR ÉLIMINER DES CONTAMINANTS IONIQUES DE LA SURFACE D'UNE PIÈCE DE FABRICATION
WO2007021085
COMPOSITION DE DÉCAPANT DE RÉSINES PHOTOSENSIBLES POUR LA FABRICATION DES SEMICONDUCTEURS
EP1755003
Dissolvant
EP1754252
PROCEDE D'ELIMINATION DES RESERVES PAR PLASMA AU MOYEN DE MODULATION PERIODIQUE DE LA CHIMIE DES GAZ ET AJOUT D'HYDROCARBURES
EP1752829
Composition d'extraction du polymère
WO2007013311
LIQUIDE DE NETTOYAGE POUR LITHOGRAPHIE
WO2007010881
SOLUTION D'ELIMINATION POUR COMPOSITION PHOTOSENSIBLE
WO2007010679
COMPOSITIONS DÉCAPANTES
WO2007004612
PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN SUBSTRAT EN RÉGULANT LA CONCENTRATION EN MATIÈRES ORGANIQUES DANS LA SOLUTION DE DÉCAPAGE
WO2006132008
AGENT DE DECOLLEMENT D'UN FILM ORGANIQUE, ET PROCEDE ET APPAREIL POUR ELIMINER UN FILM ORGANIQUE EN UTILISANT LEDIT AGENT DE DECOLLEMENT
WO2006129538
COMPOSITION DE NETTOYAGE DE GALETTE SEMI–CONDUCTRICE CONTENANT DE L'ACIDE PHOSPHONIQUE ET PROCEDE DE NETTOYAGE
WO2006129549
COMPOSITION DE NETTOYAGE DE SEMI–CONDUCTEURS CONTENANT DE L'ACIDE PHOSPHONIQUE ET DE L'ACIDE ASCORBIQUE ET PROCEDE DE NETTOYAGE
EP1729179
Procédé de décapage de fines structures de réserves
WO2006125369
COMPOSITION POUR L'ELIMINATION D'UNE COUCHE DE PHOTORESIST ET PROCEDE POUR L'UTILISER
WO2006119709
COMPOSITION POUR L'ELIMINATION D'UNE COUCHE DE RESINE PHOTOSENSIBLE ET PROCEDE D'UTILISATION
WO2006121580
COMPOSITIONS POUR LA SUPPRESSION DE SUBSTANCES POST–GRAVURE, DE RESIDUS DE PHOTORESIST EN CENDRES ET DE MASSE DE PHOTORESIST
EP1720966
COMPOSITIONS DE NETTOYAGE NANOELECTRONIQUE ET MICROELECTRONIQUE
WO2006112994
DECAPANT PHOTORESISTANT NON AQUEUX EMPECHANT LA CORROSION GALVANIQUE
WO2006107517
COMPOSITION PERMETTANT D'ELIMINER UNE PHOTORESINE A IMPLANTATION IONIQUE DANS DES APPLICATIONS FEOL
EP1701218
Décapant pour polymère
EP1701217
Composition d' une solution pour décapage de résine photosensible et procédé de décapage de résine photosensible
WO2006088561
PROCEDE DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT AVEC UN FLUIDE DE HAUTE PRESSION UTILISANT UN ADDITIF CHIMIQUE DE TRAITEMENT A BASE DE PEROXYDE
EP1692572
DECAPANTS ALCALINS DE RESTES DE GRAVURE ET DE CENDRE ISSUS DU TRAITEMENT AU PLASMA ET COMPOSITIONS DE DECAPAGE DE RESINE PHOTOSENSIBLE CONTENANT DES INHIBITEURS DE CORROSION SOUS FORME D'HALOGENURE METALLIQUE
WO2006085681
SOLUTION D'ÉLIMINATION D'UNE PRÉPARATION PHOTOSENSIBLE
WO2006085678
SOLUTION D'ÉLIMINATION D'UNE PRÉPARATION PHOTOSENSIBLE
EP1688798
Décapants pour résidus à base aqueuse comprenant du fluorure
EP1682944
PROCEDE D'UTILISATION DE BIS–CHOLINE ET DE TRIS–CHOLINE DANS LE NETTOYAGE DE POLYSILICONE A REVETEMENT QUARTZ ET AUTRES MATERIAUX
WO2006070709
LIQUIDE DE NETTOYAGE POUR LITHOGRAPHIE ET PROCEDE DE NETTOYAGE L'UTILISANT
EP1676304
PROCEDE INTEGRE DE POLISSAGE ET DE RECUIT POUR IMPLANTATION IONIQUE
WO2006065256
COMPOSITIONS NON AQUEUSES ET NON CORROSIVES DE NETTOYAGE EN MICROELECTRONIQUE CONTENANT DES INHIBITEURS DE CORROSION POLYMERES
WO2006062534
COMPOSITIONS DE NETTOYAGE MICROELECTRONIQUE NON AQUEUSES ET NON CORROSIVES
EP1664935
COMPOSITIONS DE DECAPAGE ET DE NETTOYAGE POUR LA MICRO–ELECTRONIQUE
EP1661731
Procédé permettant d'éliminer des résidus d'un substrat de semi–conducteur
EP1657594
Procédé de hydrophilisation d'un support pour l'impression par sérigraphie, procédé et liquide pour enlever le matériau de l'écran de sérigraphie
EP1644776
PROCEDES D'ELIMINATION D'UNE PHOTORESINE D'UN SUBSTRAT
EP1640806
Composition pour décapage de photoréserves et procédé de fabrication de panneaux à matrices de transistors à couches minces employant ladite composition
EP1639631
PROCEDE ET APPAREIL POUR L'ELIMINATION D'UNE COUCHE ORGANIQUE RESIDUELLE D'UN SUBSTRAT AU MOYEN DE GAZ REACTIFS
WO2006031270
SYSTEME ET PROCEDE DE NETTOYAGE DE SURFACES
EP1638138
COMPOSITION D'AGENT D'ELIMINATION ET PROCEDE D'ELIMINATION/NETTOYAGE DANS LEQUEL ON UTILISE CETTE DERNIERE
EP1635224
Procédé et composition pour éliminer des résidus de photoréserve et de polymère
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