N° de brevet Brevet
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EP1847876 SOLUTION D' ELIMINATION D'UNE PREPARATION PHOTOSENSIBLE
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WO2006121580 COMPOSITIONS POUR LA SUPPRESSION DE SUBSTANCES POST–GRAVURE, DE RESIDUS DE PHOTORESIST EN CENDRES ET DE MASSE DE PHOTORESIST
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EP1639631 PROCEDE ET APPAREIL POUR L'ELIMINATION D'UNE COUCHE ORGANIQUE RESIDUELLE D'UN SUBSTRAT AU MOYEN DE GAZ REACTIFS
WO2006031270 SYSTEME ET PROCEDE DE NETTOYAGE DE SURFACES
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EP1635224 Procédé et composition pour éliminer des résidus de photoréserve et de polymère
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