| N° de brevet |
Brevet |
| EP1887841 |
DISPOSITIF GENERATEUR DE PLASMA ET PROCEDE DE GENERATION DE PLASMA |
| EP1883858 |
OBTENTION D'UNE IMAGE EN RELIEF AU MOYEN D'UN FILM AMOVIBLE |
| WO2008011970 |
PORTE–PIÈCE DE POSITION VARIABLE DESTINÉ À UNE MACHINE ET INSTALLATION D'USINAGE COMPRENANT UN PORTE–PIÈCE CORRESPONDANT |
| EP1882984 |
Systèmes multi–réflectifs optiques et leur fabrication |
| WO2008010981 |
PROCÉDÉ POUR AMÉLIORER LA RÉSOLUTION D'UN MOTIF TRANSFÉRÉ THERMIQUEMENT |
| EP1881520 |
SYSTEME OPTIQUE DE PROJECTION, DISPOSITIF D' EXPOSITION ET PROCEDE D' EXPOSITION |
| EP1880249 |
SYSTEME OPTIQUE POUR UN DISPOSITIF DE LITHOGRAPHIE |
| EP1881521 |
SYSTÈME OPTIQUE DE PROJECTION, DISPOSITIF D EXPOSITION ET PROCÉDÉ D'EXPOSITION |
| WO2008006265 |
SYSTÈME OPTIQUE DE PROJECTION–AGRANDISSEMENT À LONGUE DISTANCE FOCALE |
| WO2008007633 |
APPAREIL OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE, APPAREIL D'EXPOSITION, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DU DISPOSITIF |
| WO2008004047 |
PROCÉDÉS ET APPAREIL POUR SÉLECTIONNER ET APPLIQUER DES ÉLÉMENTS NON CONTIGUS DANS UN MOTIF |
| WO2008004048 |
PROCÉDÉS ET APPAREIL POUR APPLIQUER DES MOTIFS D'ÉLÉMENTS NON CONTIGUS |
| WO2008000437 |
ÉLÉMENT OPTIQUE RÉFLECTIF ET PROCÉDÉ POUR SA CARACTÉRISATION |
| WO2007147803 |
COMPOSITE MULTI–COUCHE PHOTOPOLYMÉRISABLE DESTINÉ À LA PRODUCTION D'ÉLÉMENTS D'IMPRESSION FLEXOGRAPHIQUE |
| EP1870696 |
Procédé et appareil pour caractérisation angulaire de lithographie spectroscopique résolue |
| WO2007144125 |
DISPOSITIF DE REPRODUCTION |
| EP1865362 |
Système de boucle réflectif produisant un rayonnement incohérent |
| EP1865359 |
Réseau de miroirs refroidi pour lithographie |
| EP1861694 |
PROCEDE POUR REALISER DE MINCES STRUCTURES SPATIALES |
| EP1860477 |
SYSTEME OPTIQUE DE PROJECTION, EQUIPEMENT D'EXPOSITION ET PROCEDE DE FABRICATION DE DISPOSITIF |
| EP1859955 |
PROCÉDÉ DE FABRICATION DE PLAQUES D'IMPRESSION LITHOGRAPHIQUE ET SYSTÈME D'EXPOSITION D'IMAGE |
| WO2007132619 |
SystÈme optique d'imagerie, systÈme d'exposition, et procÉdÉ de fabrication d'un dispositif |
| EP1857878 |
Système actif d'amortissement de vibrations avec actionneur de position combiné |
| WO2007129891 |
DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE RAYONNEMENT, APPAREIL LITHOGRAPHIQUE, PROCÉDÉ DE FABRICATION DU DISPOSITIF ET DISPOSITIF FABRIQUÉ DE CETTE FAçON |
| EP1855311 |
DISPOSITIF ET PROCEDE D'EXPOSITION D'INTERFERENCE DE DEUX FLUX LUMINEUX, PROCEDE DE FABRICATION D'UN ELEMENT ELECTROLUMINESCENT A SEMI–CONDUCTEURS ET ELEMENT ELECTROLUMINESCENT A SEMI–CONDUCTEURS |
| WO2007122856 |
APPAREIL PERMETTANT DE REFROIDIR UN ÉLÉMENT OPTIQUE ET APPAREIL D'EXPOSITION |
| EP1850464 |
MOTEUR LINEAIRE, APPAREIL D'ETAGE ET APPAREIL D'EXPOSITION |
| WO2007119292 |
SYSTÈME OPTIQUE DE PROJECTION, RÉFLÉCHISSANT ET RÉFRACTIF; DISPOSITIF DE PROJECTION, RÉFLÉCHISSANT ET RÉFRACTIF; DISPOSITIF D'EXPOSITION À UN BALAYAGE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DUDIT MICRO DISPOSITIF |
| EP1846791 |
AMORTISSEMENT DE VIBRATIONS POUR MONTURE D'OBJECTIF DE PHOTOLITHOGRAPHIE |
| WO2007116000 |
DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE MICROSTRUCTURATION D'UN SUPPORT D'ENREGISTREMENT ET SUPPORT D'ENREGISTREMENT PRÉSENTANT UNE ZONE MICROSTRUCTURÉE |
| EP1844365 |
OBJECTIF DE PROJECTION CATADIOPTRIQUE AVEC IMAGE INTERMEDIAIRE |
| FR2899697 |
MASQUE DE PHOTOLITOGRAPHIE EN EXTREME ULTRA–VIOLET, AVEC COUCHE D'ARRET RESONANTE |
| WO2007114024 |
Système optique de projection, dispositif d'alignement, et procédé de fabrication de ce dispositif |
| EP1842103 |
SYSTEME LITHOGRAPHIQUE PAR BALAYAGE LIGNE PAR LIGNE SYNCHRONE |
| WO2007111173 |
PROCÉDÉ ET DISPOSITIF PERMETTANT D'AJUSTER UNE POSITION DE TRACÉ |
| WO2007111174 |
PROCÉDÉ ET DISPOSITIF PERMETTANT D'AJUSTER UNE POSITION DE TRACÉ |
| WO2007111307 |
SYSTÈME D'EXPOSITION À TAMBOUR INTERNE |
| WO2007111146 |
Système optique d'éclairage, système d'exposition, et procédé de fabrication d'un dispositif |
| EP1839093 |
PROCEDE POUR PRODUIRE UN COMPOSANT PRESENTANT DES MULTICOUCHES NANOMETRIQUES QUI EST DESTINE A DES APPLICATIONS OPTIQUES ET COMPOSANT PRODUIT SELON CE PROCEDE |
| EP1839092 |
SYSTEME OPTIQUE DE PROJECTION |
| WO2007107030 |
IMAGEUR A TAMBOUR INTERNE |
| WO2007108420 |
appareil d'exposition À balayage, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE micro–DISPOSITIF, MASQUE, appareil optique de projection et procédé de fabrication de masque |
| EP1837897 |
SOURCE DE LUMIERE UV EXTREME A PLASMA LASER, ELEMENT CIBLE, PROCEDE DE FABRICATION DE L'ELEMENT CIBLE, PROCEDE DE FOURNITURE DE CIBLES ET SYSTEME D'EXPOSITION A DES UV EXTREMES |
| EP1837895 |
INTEGRATEUR OPTIQUE, DISPOSITIF D'ECLAIRAGE OPTIQUE, DISPOSITIF PHOTOLITHOGRAPHIQUE, PHOTOLITHOGRAPHIE ET PROCEDE DE FABRICATION ASSOCIE |
| EP1837695 |
Système catadioptrique avec séparateur de faisceau |
| WO2007105406 |
SYSTEME OPTIQUE DE PROJECTION, ALIGNEUR ET PROCEDE DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF A SEMI–CONDUCTEURS |
| EP1835527 |
SYSTEME OPTIQUE DE PROJECTION, APPAREIL, SYSTEME ET PROCEDE D'EXPOSITION |
| EP1832929 |
Compositions et procédé de photolithographie |
| EP1830456 |
APPAREIL DE GUIDAGE MAGNETIQUE, APPAREIL A PLATINE, APPAREIL D'EXPOSITION ET PROCEDE DE FABRICATION DE DISPOSITIF |
| WO2007096094 |
INSTALLATION D'ÉCLAIRAGE |
| WO2007097380 |
APPAREIL DE FORMATION DE MOTIFS, PROCÉDÉ DE FORMATION DE MOTIFS, SYSTÈME D'ENTRAÎNEMENT D'OBJET MOBILE, PROCÉDÉ D'ENTRAÎNEMENT DE CORPS MOBILE, APPAREIL D'EXPOSITION, PROCÉDÉ D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF |
| EP1826613 |
Couche de finition pour procédés lithographiques |
| FR2897719 |
INSTALLATION ET PROCEDE DE NANO–FABRICATION |
| WO2007094784 |
PHOTORESISTS DE VERRE MOLECULAIRE A BASE D'ADAMANTANE POUR LITHOGRAPHIE SUB–200 NM |
| EP1820377 |
PROCEDE ET APPAREIL D'EXPLOITATION D'UN DISPOSITIF DE DECHARGE ELECTRIQUE |
| EP1820050 |
ELEMENT OPTIQUE D'EMISSION ET OBJECTIF DESTINE A UN APPAREIL D'EXPOSITION PAR PROJECTION MICROLITHOGRAPHIQUE |
| EP1818699 |
Écriture de structures photo–induites |
| EP1815297 |
PROCEDE POUR REALISER DES FORMES D'IMPRESSION FLEXOGRAPHIQUE, ET ELEMENT D'IMPRESSION FLEXOGRAPHIQUE APPROPRIE |
| EP1815277 |
LENTILLE A FLUIDE ULTRAVIOLET |
| EP1816502 |
SYSTÈME OPTIQUE DE PROJECTION, ÉQUIPEMENT D EXPOSITION AND PROCÉDÉ D'EXPOSITION |
| WO2007086580 |
DISPOSITIF D'AMENEE AUTOMATIQUE DE PLAQUES D'IMPRESSION LITHOGRAPHIQUE |
| WO2007086220 |
SYSTEME DE PRISE D'IMAGES CATADIOPTRIQUE, DISPOSITIF D'EXPOSITION ET PROCEDE DE FABRICATION DE DISPOSITIF |
| EP1812935 |
SURFACE OPTIQUE DE HAUTE PRECISION PREPAREE PAR AFFAISSEMENT SUR UNE PIECE FORMANT MOULE |
| EP1814145 |
PROCEDE DE REGULATION DE TEMPERATURE ET SYSTEME POUR LIQUIDE A BAS DEBIT |
| EP1814144 |
PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT, APPAREIL D EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF |
| EP1814147 |
APPAREIL D ÉCLAIRAGE, APPAREIL D EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE MICRO DISPOSITIF |
| EP1811547 |
INTEGRATEUR OPTIQUE, DISPOSITIF OPTIQUE D'ECLAIRAGE, DISPOSITIF D'EXPOSITION ET PROCEDE D'EXPOSITION |
| EP1811338 |
Procédé de formation de motif |
| EP1808447 |
Composition à base de résine photodurcissable et procédé pour la formation d'un modèle |
| EP1806828 |
MOTEUR LINÉAIRE, APPAREIL À ÉTAGES ET APPAREIL D EXPOSITION |
| EP1805544 |
STABILISATEUR D'ACTIONNEUR À SIX DEGRÉS DE LIBERTÉ |
| EP1805546 |
DISPOSITIF D'IMAGERIE OU D'INSOLATION, NOTAMMENT POUR LA REALISATION D'UN MICRO–CIRCUIT ELECTRONIQUE |
| EP1803012 |
SYSTEME DE PROJECTION OPTIQUE |
| EP1803967 |
Système d'isolation de vibrations avec stabilisation de variables relatif aux perturbations de force prévoyables |
| EP1803963 |
Modul hybride de rigidité pour islolation de vibrations |
| EP1804555 |
Dispositif de source de rayonnement UV extrême |
| WO2007072335 |
REDUCTION DE GRANULARITE PAR BALAYAGE ANGULAIRE POUR DES SYSTEMES D'AFFICHAGE A PROJECTION LASER |
| EP1801630 |
SYSTEME OPTIQUE DE PROJECTION, PROCEDE DE FABRICATION DE SYSTEME OPTIQUE DE PROJECTION SYSTEME D'EXPOSITION ET PROCEDE D'EXPOSITION |
| EP1800188 |
DISPOSITIF DE GENERATION DE LUMIERE DANS L' EXTREME ULTRAVIOLET ET APPLICATION A UNE SOURCE DE LITHOGRAPHIE PAR RAYONNEMENT DANS L'EXTREME ULTRAVIOLET |
| EP1798758 |
DISPOSITIF OPTIQUE D'ECLAIRAGE, PROCEDE DE REGULATION POUR DISPOSITIF OPTIQUE D'ECLAIRAGE, SYSTEME D'EXPOSITION ET PROCEDE D'EXPOSITION |
