N° de brevet Brevet
EP1899509 DISPOSITIF ET PROCEDE POUR LE MAINTIEN D'UNE PRESSION QUASI–ATMOSPHERIQUE DANS UNE CHAMBRE DE TRAITEMENT
WO2007000704 DISPOSITIF ET PROCEDE POUR LE MAINTIEN D'UNE PRESSION QUASI–ATMOSPHERIQUE DANS UNE CHAMBRE DE TRAITEMENT
EP1027474 TUBE DE TRAITEMENT AVEC PRECHAUFFAGE DU GAZ IN SITU
WO9914395 TUBE DE TRAITEMENT AVEC PRECHAUFFAGE DU GAZ IN SITU
WO9907924 APPAREIL ET PROCEDE DE FABRICATION DE DOPANTS IN SITU
EP0884407 Procédé et appareillage pour la production des couches minces utilisant des flux de gaz de traitement et de gaz inerte qui entrent en collision
EP0870852 Procédé et dispositif pour empêcher la condensatin dans un canal d'échappement
EP0821084 Système pour régler le flux gazeux dans des zones multiples d'une chambre de traitement
EP0756118 Système de contrôle de fluide et vanne associée
EP0656076 FOUR ET SON PROCEDE DE COMMANDE.
WO9404723 FOUR ET SON PROCEDE DE COMMANDE
EP0492632 Module de purge de chambre de traitement pour un dispositif de traitement de semiconducteurs.
EP0485122 Source de diffusion planaire de pentaphosphate de cerium pour le dopage à basse température.
FR2667138 CHAMBRE AYANT UNE ZONE CHAUDE ET UNE ZONE FROIDE ET AU MOINS UNE TUBULURE D'INTRODUCTION DE GAZ.
EP0432781 Procédé et appareillage pour la fabrication de composants semi–conducteur de type à diffusion.
EP0385382 Procédé et appareillage pour le traitement thermique de matériaux semi–conducteurs.
FR2599558 PROCEDE DE REALISATION D'UN DISPOSITIF SEMI–CONDUCTEUR, INCLUANT LE DEPOT EN PHASE VAPEUR DE COUCHES SUR UN SUBSTRAT
EP0229050 SYSTEME DE REMPLISSAGE CHIMIQUE.
EP0221895 Récipient pour des liquides corrosifs.
FR2581711 DISPOSITIF POUR LA REGULATION, L'INTERRUPTION OU LA COMMUTATION DE FLUIDES
EP0194501 Tête de tirage pour récipients de liquide
FR2569207 PROCEDE ET DISPOSITIF D'OBTENTION D'UN COURANT GAZEUX CONTENANT UN COMPOSE A L'ETAT DE VAPEUR, UTILISABLE NOTAMMENT POUR INTRODUIRE CE COMPOSE DANS UN REACTEUR D'EPITAXIE
EP0157974 Mousses réfractaires composites.
EP0156054 Supports poreux en carbure de silicium pour le dopage de semi–conducteurs.
EP0156055 Source à mousse pour le dopage de semi–conducteurs.
EP0151851 Support poreux pour le dopage de semi–conducteurs.
FR2505881 PROCEDE ET DISPOSITIF POUR DOPER UN MATERIAU SEMI–CONDUCTEUR
EP0062174 Appareil pour traiter des spécimens à température élevée
FR2479278 PROCEDE DE DIFFUSION D'IMPURETES DANS UN SEMICONDUCTEUR ET DISPOSITIF POUR LA MISE EN OEUVRE DE CE PROCEDE
FR2471668 PROCEDE DE DIFFUSION DE PHOSPHORE DANS UN SEMI–CONDUCTEUR ET PROCEDE D'OBTENTION DE PHOSPHURE DE SILICIUM
FR2409791 APPAREILS DE DOPAGE PAR DIFFUSION DE TRANCHES SEMI–CONDUCTRICES
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