| N° de brevet |
Brevet |
| EP1884505 |
PROCEDE DE GRAVURE SECHE, PROCEDE POUR FORMER UNE STRUCTURE FINE, MOULE ET SON PROCEDE DE PRODUCTION |
| FR2903525 |
PORTE–SUBSTRAT MECANIQUE |
| EP1832340 |
Procédé et dispositif de traitement partiel d'une surface d'un composant avec un plasma à basse pression généré dans une chambre à vide |
| WO2007094087 |
PROCEDE DE DECAPAGE A SEC, PROCEDE DE FORMATION D'UNE MICROSTRUCTURE, MOULE ET SON PROCEDE DE FABRICATION |
| EP1742758 |
PROCEDE ET ARRANGEMENT DE GRAVURE LASER D'UNE STRUCTURE COMMENÇANT PAR L'IRRADIATION DE ZONES DE CETTE STRUCTURE AFIN D'EN MODIFIER LA CRISTALLINITE |
| EP1729551 |
MATÉRIEL DE PRODUCTION DE PLASMA |
| WO2006126520 |
PROCEDE DE GRAVURE SECHE, PROCEDE POUR FORMER UNE STRUCTURE FINE, MOULE ET SON PROCEDE DE PRODUCTION |
| WO2006115242 |
FINE PARTICULE TRAITÉE EN SURFACE, APPAREIL DE TRAITEMENT DE SURFACE ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE SURFACE DE FINE PARTICULE |
| EP1710327 |
Méthode de décapage sélective par un faisceau d'ions, d'électrons ou par un laser |
| EP1639619 |
PROCEDE ET DISPOSITIF POUR L'ENLEVAGE PARTIEL DE COUCHE SUR DES PLAQUES DE VERRE |
| EP1638139 |
DISPOSITIF DE TRAITEMENT DU PLASMA |
| EP1597035 |
SURFACE DE RASAGE A MICROARETES ET PROCEDE DE FABRICATION CORRESPONDANT |
| WO2005108000 |
PROCEDE DE GRAVURE LASER D'UNE STRUCTURE COMMENÇANT PAR L'IRRADIATION DE ZONES DE CETTE STRUCTURE AFIN D'EN MODIFIER LA CRISTALLINITE |
| EP1594161 |
DISPOSITIF DE TRAITEMENT PAR PLASMA, PLAQUE ELECTRODE DE DISPOSITIF DE TRAITEMENT PAR PLASMA ET PROCEDE DE PRODUCTION DE PLAQUE ELECTRODE |
| WO2005094140 |
MATÉRIEL DE PRODUCTION DE PLASMA |
| EP1569806 |
PROCEDE DE GRAVURE DE METAL, ARTICLE ET APPAREIL |
| WO2005078782 |
APPAREIL DE TRAITEMENT AU PLASMA ET MÉTHODE DE TRAITEMENT AU PLASMA |
| EP1565592 |
PROCEDE DE NETTOYAGE D'UNE CHAMBRE DE PROCESSUS |
| WO2005069701 |
APPAREIL DE TRAITEMENT AU PLASMA |
| EP1507882 |
PROCEDE PERMETTANT D'ELIMINER AU MOINS UNE ZONE PARTIELLE D'UNE PIECE EN METAL OU CONSTITUEE D'UN COMPOSITE METALLIQUE |
| EP1506562 |
STABILISATION DE PLASMAS ELECTRONEGATIFS AU MOYEN DE COMMANDE ASSERVIE DE SYSTEMES GENERATEURS RF |
| WO2004114357 |
PROCEDE ET DISPOSITIF POUR L'ENLEVAGE PARTIEL DE COUCHE SUR DES PLAQUES DE VERRE |
| WO2004102650 |
DISPOSITIF DE TRAITEMENT DU PLASMA |
| EP1454705 |
Procédé de traitement thermique d'un objet métallique, en particulier en aluminium |
| WO2004071722 |
SURFACE DE RASAGE A MICROARETES |
| WO2004070808 |
DISPOSITIF DE TRAITEMENT PAR PLASMA, PLAQUE ELECTRODE DE DISPOSITIF DE TRAITEMENT PAR PLASMA ET PROCEDE DE PRODUCTION DE PLAQUE ELECTRODE |
| WO2004070813 |
APPAREIL ET PROCEDE DE TRAITEMENT AU PLASMA |
| EP1432847 |
PROCEDE POUR ENLEVER AU MOINS UNE ZONE DE COUCHE D'UN COMPOSANT EN METAL OU EN ALLIAGE METALLIQUE |
| WO2004053197 |
PROCEDE DE GRAVURE DE METAL, ARTICLE ET APPAREIL |
| EP1430987 |
Micro–usinage par plasma induit par laser |
| WO2004050936 |
PROCEDE DE NETTOYAGE D'UNE CHAMBRE DE PROCESSUS |
| WO2004049420 |
APPAREIL ET PROCEDE DE TRAITEMENT PAR PLASMA |
| EP1422193 |
Procéde de fabrication d'un moule pour le coulage par injection d'une pièce avec microstructures à deux niveaux |
| EP1405330 |
COMPOSANTS DE CHAMBRE DE TRAITEMENT PRESENTANT DES SURFACES INTERNES TEXTUREES ET LEUR PROCEDE DE FABRICATION |
| EP1392882 |
PROCEDE DESTINE AU TRAITEMENT D'UN SUBSTRAT |
| EP1390964 |
SOURCE D'IONS DIPOLE |
| EP1391140 |
PROCEDE ET APPAREIL PERMETTANT DE COMMANDER LA DISTRIBUTION DE TEMPERATURE SPATIALE SUR LA SURFACE D'UN SUPPORT DE PIECE |
| EP1388159 |
SOURCE DE PLASMA A MIROIR MAGNETIQUE |
| EP1383939 |
UTILISATION DE PERFLUOROCETONES COMME GAZ DE NETTOYAGE, DE GRAVURE ET DE DOPAGE DESTINES A UN REACTEUR A VAPEUR |
| WO2004003256 |
GRAVURE ANISOTROPIQUE A SEC DE COUCHES CONTENANT DU CU |
| EP1345704 |
PROCEDE ET APPAREIL PERMETTANT D'APPLIQUER UNE SUCCESSION REGULEE DE POINTES THERMIQUES OU D'ONDES DE CHOC PAR LE BIAIS D'UN MILIEU |
| EP1342510 |
Procédé de décapage d'éléments de moteur et dispositif d'exécution du procédé |
| EP1336189 |
DISPOSITIF, ENSEMBLE ET PROCEDE POUR ACHEMINER UN GAZ OU UN LIQUIDE AU NIVEAU D'UNE SURFACE A TRAVERS UN TUYAU |
| EP1323179 |
REGULATION DE LA PRESSION D'UNE ZONE DE CONFINEMENT DE PLASMA SITUEE AU–DESSUS D'UNE TRANCHE |
| EP1320875 |
COMPOSITIONS DE GAZ SERVANT AU NETTOYAGE DE L'INTERIEUR DE REACTEURS DE MEME QUE POUR LA GRAVURE DE FILMS DE COMPOSES CONTENANT DU SILICIUM |
| EP1315201 |
ANTENNE RADIALE ET APPAREIL DE TRAITEMENT DE PLASMA COMPORTANT CETTE DERNIERE |
| EP1300875 |
DISPOSITIF DE TRAITEMENT AU PLASMA |
| EP1289003 |
APPAREIL DE TRAITEMENT AU PLASMA |
| EP1274499 |
APPAREIL ET PROCEDE POUR LA REDUCTION D'EFFLUENTS DE FABRICATION DE SEMI–CONDUCTEURS CONTENANT DU GAZ DE FLUOR |
| WO03003404 |
COMPOSANTS DE CHAMBRE DE TRAITEMENT PRESENTANT DES SURFACES INTERNES TEXTUREES ET LEUR PROCEDE DE FABRICATION |
| WO02089531 |
PROCEDE ET APPAREIL PERMETTANT DE COMMANDER LA DISTRIBUTION DE TEMPERATURE SPATIALE SUR LA SURFACE D'UN SUPPORT DE PIECE |
| WO02086937 |
SOURCE D'IONS DIPOLE |
| WO02086192 |
UTILISATION DE PERFLUOROCETONES COMME GAZ DE NETTOYAGE, DE GRAVURE ET DE DOPAGE DESTINES A UN REACTEUR A VAPEUR |
| WO02080248 |
DISPOSITIF DE TRAITEMENT AU PLASMA |
| EP1232877 |
Procédé de nettoyage pour recyclage d' un substrat d' impression par ablation au laser |
| WO0226400 |
PROCEDE ET APPAREIL PERMETTANT D'APPLIQUER UNE SUCCESSION REGULEE DE POINTES THERMIQUES OU D'ONDES DE CHOC PAR LE BIAIS D'UN MILIEU |
| WO0219375 |
DISPOSITIF, ENSEMBLE ET PROCEDE POUR ACHEMINER UN GAZ OU UN LIQUIDE AU NIVEAU D'UNE SURFACE A TRAVERS UN TUYAU |
| WO0213249 |
ANTENNE RADIALE ET APPAREIL DE TRAITEMENT DE PLASMA COMPORTANT CETTE DERNIERE |
| EP1178134 |
Procédé et dispositif pour traiter des substrats métalliques au défilé par plasma |
| EP1166322 |
PROCEDE DE TRAITEMENT DE PLASMA ET APPAREIL DOTE DE COMMANDE DE POLARISATION HF |
| EP1158565 |
Source de plasma toroidale pour traitement par plasma |
| EP1158576 |
Méthode d'attaque d'un film D'OXYDE METALLIQUE COMPOSITE et appareillage de traitement |
| EP1152906 |
ENLEVEMENT VECTORIEL LOCAL DE PARTICULES |
| WO0180297 |
APPAREIL DE TRAITEMENT AU PLASMA |
| WO0178873 |
APPAREIL ET PROCEDE POUR LA REDUCTION D'EFFLUENTS DE FABRICATION DE SEMI–CONDUCTEURS CONTENANT DU GAZ DE FLUOR |
| EP1126532 |
Procédé de fabrication d'une couche d'oxyde tunnel |
| EP1118105 |
PROCEDE DE NETTOYAGE D'UNE CHAMBRE DE TRAITEMENT |
| EP1115140 |
Appareil de traitement par plasma |
| EP1100115 |
DISPOSITIF ET PROCEDE DE TRAITEMENT AU PLASMA |
| EP1100119 |
PROCEDE DE TRAITEMENT AU PLASMA |
| WO0124248 |
GAZ D'HYDROCARBURES POUR GRAVURE ANISOTROPE DE COUCHES CONTENANT UN METAL |
| EP1079423 |
APPAREIL DE TRAITEMENT AU GAZ |
| EP1054438 |
Système et procédé pour le nettoyage des surfaces recouvert de silicium dans un implanteur ionique |
| EP1052689 |
Méthode de gravure anisotrope de films minces de cuivre par de la beta–dicétone, de la beta–cétoimine ou par leurs produits de décomposition |
| EP1047563 |
MODIFICATION DE LA SURFACE DE PROTHESES MEDICALES |
| EP1043424 |
Procédé d'enlèvement locale de produits d'oxydation et de corrosion de surfaces de composants de moteur de turbine |
| WO0059018 |
SYSTEME DE TRAITEMENT AU PLASMA |
| WO0058992 |
PROCEDE DE TRAITEMENT DE PLASMA ET APPAREIL DOTE DE COMMANDE DE POLARISATION HF |
| WO0059024 |
TECHNIQUES AMELIOREES POUR GRAVER UNE COUCHE D'ALUMINIUM CONTENANT DU NEODYME |
| EP1036210 |
APPAREIL POUR LA MODIFICATION DE SURFACES DE MATIERES POLYMERES, METALLIQUES ET CERAMIQUES A L'AIDE D'UN FAISCEAU IONIQUE |
