| N° de brevet |
Brevet |
| WO2007106732 |
système de déposition par pulvérisation cathodique et ses procédés d'utilisation |
| EP1801846 |
Arrangement de cible pour montage/démontage et procédé de fabrication |
| WO2007070249 |
CIBLES DE PULVERISATION ET PROCEDES DE DEPOT D'UN FILM CONTENANT DE L'ETAIN ET DU NIOBIUM |
| EP1753891 |
PROCEDE DE REVETEMENT MSVD |
| EP1749118 |
REVETEMENT DUR, RESISTANT A L'USURE, A BASE DE NITRURE D'ALUMINIUM |
| EP1727643 |
PROCEDE DE FABRICATION D'UNE CIBLE DE PULVERISATION |
| EP1712654 |
Revêtement multicouche ayant d'excellentes propriétés d'adhesion et de glissement et son procédé de fabrication |
| FR2881757 |
PROCEDE D'ELABORATION PAR PROJECTION THERMIQUE D'UNE CIBLE A BASE DE SILICIUM ET DE ZIRCONIUM |
| EP1688513 |
Revêtement dur, cible pour former un revêtement dur, et procédé de fabrication d'un revêtement dur |
| WO2006032925 |
DISPOSITIF ET PROCEDE DE DEPOT DE MATERIAU |
| EP1625603 |
GENERATION DE PLASMA UNIFORMEMENT REPARTI |
| EP1614655 |
Revêtement dur et son procédé de fabrication |
| FR2872173 |
DISPOSITIF ET PROCEDE POUR DEPOSER UN SYSTEME DE COUCHES MINCES PAR PULVERISATION |
| WO2005100629 |
SYSTEME DE PRETRAITEMENT DE METALLISATION ET D'ACTIVATION DE SURFACE SUR UNE GRANDE ZONE |
| WO2005095296 |
PROCEDE DE PREPARATION D'UN FILM DOPE AUX TERRES RARES |
| EP1583852 |
CONCEPTIONS DE CIBLES ET PROCEDES ASSOCIES PERMETTANT UN REFROIDISSEMENT AMELIORE AINSI QU'UNE DEFLEXION ET UNE DEFORMATION REDUITES |
| WO2005084242 |
PROCEDE DE FABRICATION D'UNE CIBLE DE PULVERISATION |
| WO2005084087 |
PROCEDES ET APPAREIL POUR LA GENERATION DE PLASMAS A HAUTE DENSITE AVEC DES INSTABILITES D'IONISATION |
| EP1552544 |
PROCEDE POUR PRODUIRE DES SUBSTRATS REVETUS PAR PULVERISATION CATHODIQUE MAGNETRON ET INSTALLATION CORRESPONDANTE |
| WO2005059197 |
PROCEDE ET DISPOSITIF DE PULVERISATION AU MAGNETRON |
| WO2005052979 |
SOURCE DE PLASMA AVEC CATHODE DE MAGNETRON SEGMENTEE |
| WO2005010225 |
REVETEMENTS DE SURFACE SELECTIFS SOLAIRES, MATERIAUX UTILISES DANS CES REVETEMENTS ET PROCEDE DE PRODUCTION DE CES REVETEMENTS |
| WO2005004314 |
APPAREIL DE PULVERISATION A DEUX MAGNETRONS UTILISANT UN CONTROLEUR POUR DELIVRER UN COURANT EQUILIBRE |
| EP1485516 |
PROCEDE DE FORMATION DE FILMS DE NITRURE DE TITANE |
| WO2004102610 |
GENERATION DE PLASMA UNIFORMEMENT REPARTI |
| EP1459353 |
PLASMA AUTO–IONISE ET INDUCTIF POUR PULVERISATION ET REPULVERISATION CATHODIQUES |
| WO2004075624 |
SYSTEME ET PROCEDES DE SIGNALISATION |
| WO2004067791 |
ALUMINIUM–OXYDE DE TITANE TRANSPARENT ET/OU OXYDE D'ALUMINIUM RECOUVERT D'UNE STRUCTURE RUTILE |
| EP1423551 |
PROCEDE POUR PRODUIRE UN REVETEMENT FONCTIONNEL NANOSTRUCTURE ET REVETEMENT POUVANT ETRE PRODUIT PAR CE PROCEDE |
| EP1419285 |
PROCEDE ET APPAREIL DE PRODUCTION DE CONTRAINTES ISOTROPES UNIFORMES DANS UN FILM DEPOSE PAR PULVERISATION |
| WO2004038059 |
CONCEPTIONS DE CIBLES ET PROCEDES ASSOCIES PERMETTANT UN REFROIDISSEMENT AMELIORE AINSI QU'UNE DEFLEXION ET UNE DEFORMATION REDUITES |
| WO2004031435 |
PULVERISATION MAGNETRON PULSEE HAUTE PUISSANCE |
| EP1407058 |
CIBLES DE PULVERISATION, REACTEURS DE PULVERISATION, PROCEDES D'ELABORATION DE LINGOTS COULES, ET PROCEDES D'ELABORATION D'ARTICLES METALLIQUES |
| WO2004029324 |
PROCEDE DE DEPOT DE REVETEMENTS MULTICOUCHES |
| EP1390964 |
SOURCE D'IONS DIPOLE |
| EP1388159 |
SOURCE DE PLASMA A MIROIR MAGNETIQUE |
| EP1384257 |
DEPOT ET GRAVURE EN PHASE VAPEUR PHYSIQUE IONISEE EN PHASES SUCCESSIVES |
| EP1382711 |
EVAPORATEUR A ARC ELECTRIQUE AVEC GUIDE MAGNETIQUE PUISSANT POUR CIBLES DE SURFACE IMPORTANTE |
| EP1350863 |
Procédé et appareillage pour le dépot sur un substrat d'un flux de matière préférentiellement orienté |
| WO03053876 |
REVETEMENT AMELIORE POUR FIBRES OPTIQUES ET PROCEDE |
| WO03042424 |
PLASMA AUTO–IONISE ET A COUPLAGE INDUCTIF DESTINE A UNE PULVERISATION ET A UNE REPULVERISATION |
| EP1301651 |
SYSTEME DE TRAITEMENT D'UNE COUCHE MINCE A DOUBLE BALAYAGE |
| EP1292717 |
PULVERISATION PULSEE HAUTEMENT IONISEE PAR MAGETRON |
| WO03018862 |
PROCEDE POUR PRODUIRE UN REVETEMENT FONCTIONNEL NANOSTRUCTURE ET REVETEMENT POUVANT ETRE PRODUIT PAR CE PROCEDE |
| WO03018865 |
PROCEDE ET APPAREIL DE PRODUCTION DE CONTRAINTES ISOTROPES UNIFORMES DANS UN FILM DEPOSE PAR PULVERISATION |
| WO03008656 |
CIBLES DE PULVERISATION, REACTEURS DE PULVERISATION, PROCEDES D'ELABORATION DE LINGOTS COULES, ET PROCEDES D'ELABORATION D'ARTICLES METALLIQUES |
| EP1273028 |
PROCEDE ET APPAREIL DE PULVERISATION MAGNETRON |
| EP1261042 |
Procédé de fabrication d'un dispositif organic à couche mince au moyen d'un appareil avec un ensemble de cibles de pulvérisation |
| WO02091461 |
DEPOT ET GRAVURE EN PHASE VAPEUR PHYSIQUE IONISEE EN PHASES SUCCESSIVES |
| WO02086937 |
SOURCE D'IONS DIPOLE |
| WO02086193 |
DISPOSITIF DE TRAITEMENT AU PLASMA |
| WO02061165 |
DISPOSITIF DE REVETEMENT DE TYPE CERAMIQUE D'UN SUBSTRAT |
| WO0244444 |
PROCEDE ET APPAREIL DE PRODUCTION DE COLONNES MN ET CROISSANCE DE MATERIAUX MN SUR CELLES–CI |
| WO0221627 |
PILE A FILM MINCE ET PROCEDE DE FABRICATION |
| WO0212932 |
DISPOSITIFS OPTIQUES PLANS ET PROCEDES DE FABRICATION ASSOCIES |
| WO0204695 |
SYSTEME DE TRAITEMENT D'UNE COUCHE MINCE A DOUBLE BALAYAGE |
| WO0200961 |
PROCEDE POUR PRODUIRE UN ENSEMBLE MULTICOUCHE MULTIFONCTIONNEL SUR UN SUBSTRAT EN MATIERE PLASTIQUE TRANSPARENT, ET ENSEMBLE MULTICOUCHE MULTIFONCTIONNEL PRODUIT SELON CE PROCEDE |
| EP1165853 |
PROCEDE ET APPAREIL DE PULVERISATION AU MAGNETRON |
| EP1120820 |
Procédé et dispositif pour fabriquer une interconnexion |
| EP1103631 |
Dispositif et méthode pour la déposition d'un matériau sur un substrat |
| WO0137310 |
PROCEDE ET DISPOSITIF DE DEPOT EN PHASE VAPEUR DE MATERIAU IONISE |
| EP1101834 |
Procédé pour déposer des matériaux sur des substrats |
| EP1096036 |
Pulvérisation par plasma au moyen de gaz lourds |
| EP1094504 |
Tungstène et nitrure de tungstène deposé par électropulvérisation de plasma d'ions métaux comme couche de revêtement, de barrière ou de germination |
| EP1091016 |
Plasma auto–ionisé pour la pulvérisation du cuivre |
| EP1076911 |
PROCEDE ET APPAREIL DE METALLISATION PAR DEPOT SOUS VIDE DE VAPEUR IONISEE |
| EP1038045 |
PROCEDE ET DISPOSITIF DE PULVERISATION CATHODIQUE MAGNETIQUEMENT RENFORCEE |
| EP1029105 |
OUTIL DE COUPE A ENROBAGE D'AL 2?O 3? PAR DEPOT PAR EVAPORATION SOUS VIDE |
| EP1018139 |
REGLAGE DE L'UNIFORMITE DU DEPOT DANS UNE SOURCE DE PLASMA INDUCTIF |
| EP1017872 |
DISPOSITIF POUR REPARTIR DES COUCHES DE SUBSTANCE DURE A L'ETAT PULVERULENT |
| EP0996762 |
MISE EN OEUVRE DU PROCEDE DE POLARISATION DE TRANCHE EN COURANT CONTINU PULSE POUR REMPLIR DE METAL DES VIAS OU DES TRANCHEES DANS LA TECHNIQUE DE DEPOT DE VAPEUR PHYSIQUE A PLASMA HAUTE DENSITE |
| EP0992606 |
Méthode et appareillage pour déposer un revêtement sur un objet métallique |
| EP0985058 |
FILMS DE NITRURE DE TANTALE ET DE TANTALE A CONTRAINTE AJUSTABLE |
| EP0984075 |
APPAREIL A DEPOT DE FILM ET FILM MULTICOUCHE A GRILLE ARTIFICIELLE |
| EP0975819 |
APPAREIL ET PROCEDE AMELIORES DE DEPOT PHYSIQUE EN PHASE VAPEUR AVEC IONISATION ACTIVE PAR UN PLASMA INDUIT PAR HAUTE FREQUENCE |
| WO9953506 |
COMBINAISON D'AIMANTS PRODUISANT UN CHAMP MAGNETIQUE EXTERIEUR UNIFORME |
| EP0933444 |
DISPOSITIF DE PULVERISATION CATHODIQUE A MAGNETRON A FEUILLE |
| FR2772185 |
CATHODE DE PULVERISATION CATHODIQUE OU D'EVAPORATION PAR ARC ET APPAREIL LA COMPORTANT |
| WO9924634 |
OUTIL DE COUPE A ENROBAGE D'AL2O3 PAR DEPOT PAR EVAPORATION SOUS VIDE |
| EP0914670 |
SOURCE D'ARC CATHODIQUE ET CIBLE DE GRAPHITE |
