COMPOSITIONS DE LIAISON HAUTE TEMPÉRATURE ET PAR ROTATION POUR LA LIAISON TEMPORAIRE DE TRANCHES EN UTILISANT UNE APPROCHE PAR GLISSEMENT

N° de brevet: WO2008045669 (A1)
Date de publication: 2008-04-17
Inventeur(s): PILLALAMARRI SUNIL K [US];LI CHENGHONG [US];
Demandeur(s): BREWER SCIENCE INC [US];PILLALAMARRI SUNIL K [US];LI CHENGHONG [US];
Classification: H01L21/304;
N° de demande: WO2007US79204 20070921 
Numéro(s) de priorité: US20060828572P 20061006;US20070763253 20070614 
L'invention concerne de nouvelles compositions et des procédés d'utilisation de ces compositions en tant que compositions de liaison. Les compositions comprennent un polymère dispersé ou dissous dans un système de solvant, et peuvent être utilisées pour lier une tranche active à une tranche de soutien ou à un substrat afin de contribuer à la protection de la tranche active et de ses sites actifs lors du traitement et de la manipulation ultérieurs. Les compositions forment des couches de liaisons résistantes chimiquement et thermiquement, mais peuvent également être ramollies pour permettre aux tranches de se séparer par glissement à l'étape appropriée du procédé de fabrication.

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