PROCÉDÉ DE FORMATION D'ARTICLE REVÊTU D'OXYDE DE ZINC
| N° de brevet: |
WO2008027087 (A1) |
| Date de publication: |
2008-03-06 |
| Inventeur(s): |
ABRAMS MICHAEL B [US];KOROTKOV ROMAN Y [US];SILVERMAN GARY S [US];SMITH RYAN [US];STRICKER JEFFERY L [US]; |
| Demandeur(s): |
PILKINGTON GROUP LTD [GB];ARKEMA INC [US];ABRAMS MICHAEL B [US];KOROTKOV ROMAN Y [US];SILVERMAN GARY S [US];SMITH RYAN [US];STRICKER JEFFERY L [US]; |
| Classification: |
C23C16/40;C23C16/453;C03C17/245; |
| N° de demande: |
WO2007US10669 20070503 |
| Numéro(s) de priorité: |
US20060840914P 20060829 |
Procédé de dépôt chimique en phase vapeur pour le dépôt de revêtement d'oxyde de zinc sur un substrat par la fourniture de deux flux gazeux précurseurs sur une surface du substrat, et mélange de ces flux sur ladite surface pendant un laps de temps suffisamment court pour former ledit revêtement à un taux de dépôt supérieur à 5 nm/seconde.
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