La présente invention concerne un appareil destiné à fabriquer une structure carbonée, comprenant la formation d'une structure carbonée sur un substrat. Ledit appareil comprend une première chambre pour la formation d'un premier espace destiné à contenir un substrat, un dispositif d'introduction d'un gaz de départ destiné à introduire un gaz de départ pour la formation d'une structure carbonée dans le premier espace, une seconde chambre destinée à la formation d'un second espace qui est séparé du premier espace, un dispositif d'introduction de gaz destiné à introduire un gaz pour produire du plasma dans le second espace, un dispositif de production de plasma destiné à produire le plasma dans le second espace, une ouverture destinée à la connexion du premier espace au second espace et un dispositif d'introduction de plasma destiné à introduire le plasma produit dans le second espace dans le premier espace à travers l'ouverture. Une structure carbonée est formée sur le substrat à l'aide d'un gaz de départ en bénéficiant du plasma introduit dans le premier espace. Lors de la formation d'une structure carbonée sur le substrat, l'appareil de fabrication peut supprimer la contamination de l'électrode et analogue et l'occurrence d'une matière étrangère et analogue et peut former un puits de structure carbonée dans une grande surface.