PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM CARBONE
| N° de brevet: |
WO2008026395 (A1) |
| Date de publication: |
2008-03-06 |
| Inventeur(s): |
UMENO MASAYOSHI [JP];KAWAHARA YASHICHI [JP];OHTA HARUHISA [JP]; |
| Demandeur(s): |
NIPPON OIL CORP [JP];UMENO MASAYOSHI [JP];KAWAHARA YASHICHI [JP];OHTA HARUHISA [JP]; |
| Classification: |
C23C16/26;C01B31/02;C23C16/503; |
| N° de demande: |
WO2007JP64176 20070718 |
| Numéro(s) de priorité: |
JP20060232577 20060829 |
La présente invention concerne un procédé de formation de film de carbone selon lequel un film de carbone est formé sur un substrat par un procédé de dépôt chimique en phase vapeur par plasma. Ce procédé de formation d'un film de carbone se caractérise en ce qu'un film de carbone est formé sur un substrat par la transformation d'un gaz contenant un composé à base d'adamantane en plasma par une décharge directe de courant.
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