Suspension épaisse de polissage à abrasifs mélangés pour matériau faiblement diélectrique, comprenant deux ou plus de deux types d'abrasifs de polissage, l'un des abrasifs étant de la silice à dopage Al, et l'autre étant du groupe silice, alumine, silice revêtue d'alumine ou silice revêtue de zirconie ou leurs combinaisons. Ce produit permet non seulement d'ajuster efficacement la vitesse de polissage de silice dopée au carbone et de silice faiblement diélectrique, mais encore d'empêcher la corrosion locale et générale durant le polissage métallique, et donc d'améliorer l'acceptabilité. De plus, il est utile dans les circuits intégrés contenant du métal, une barrière métallique, de la silice dopée au carbone et de la silice simultanément.