PROCEDE POUR DEPOSER SUR UN SUBSTRAT UNE COUCHE MINCE D'ALLIAGE METALLIQUE ET ALLIAGE METALLIQUE SOUS FORME DE COUCHE MINCE.- Brevets FR2905707 (A1)

PROCEDE POUR DEPOSER SUR UN SUBSTRAT UNE COUCHE MINCE D'ALLIAGE METALLIQUE ET ALLIAGE METALLIQUE SOUS FORME DE COUCHE MINCE.

N° de brevet:	FR2905707 (A1)
Date de publication:	2008-03-14
Inventeur(s):	GILLON PASCALE;THOMANN ANNE LISE;BRAULT PASCAL;
Demandeur(s):	CENTRE NAT RECH SCIENT [FR];UNIV ORLEANS [FR];
Classification:	C23C14/34;C22C16/00;
N° de demande:	FR20060007876 20060908
Numéro(s) de priorité:	FR20060007876 20060908

La présente invention concerne un procédé pour déposer sur un substrat une couche mince d'alliage métallique comprenant au moins quatre éléments, par pulvérisation cathodique simultanée d'au moins deux cibles.La présente invention concerne également un alliage métallique sous forme de couche mince comprenant au moins quatre éléments, susceptibles d'être déposés sur un substrat par mise en oeuvre du procédé.