PROCEDE D'ELIMINATION PAR RECUIT DES PRECIPITES DANS UN MATERIAU SEMI CONDUCTEUR II VI

N° de brevet: FR2905706 (A1)
Date de publication: 2008-03-14
Inventeur(s): PELLICIARI BERNARD;
Demandeur(s): COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE [FR];
Classification: C21D1/74;C30B11/00;H01L21/477;
N° de demande: FR20060053612 20060907 
Numéro(s) de priorité: FR20060053612 20060907 
Procédé d'élimination par recuit des précipités contenus dans un matériau solide de semi-conducteur II-VI, dans lequel ledit matériau solide semi-conducteur est un matériau solide semi-conducteur à sublimation congruente, et dans lequel on effectue les étapes successives suivantes :- on chauffe sous gaz neutre le matériau solide semi-conducteur jusqu'à une température T comprise entre une première température T1, correspondant à l'eutectique composé II-VI/élément VI, et une seconde température T2, correspondant à la température maximale de sublimation congruente ;- on maintient sous gaz neutre le matériau solide à cette température T pendant une durée suffisante pour éliminer les précipités ;- on refroidit le matériau solide semi-conducteur sous gaz neutre depuis la température T jusqu'à la température ambiante à une vitesse telle que le matériau solide suive au cours du refroidissement sa ligne de sublimation congruente ;- on récupère le matériau solide semi-conducteur exempt de précipités.

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