L'invention concerne des procédés permettant de déterminer un niveau de remplissage d'un précurseur dans un barboteur. Le barboteur et couplé fluidique à une chambre de traitement de substrat par le biais d'un système de distribution de vapeur. Le barboteur et le système de distribution de vapeur sont remplis d'une dose connue d'un gaz de remplissage. On détermine une pression et une température du gaz de remplissage, ce qui permet de déterminer un volume total du gaz de remplissage dans le barboteur et le système de distribution de vapeur par application d'une loi des gaz. Le niveau du précurseur dans le barboteur est déterminé en tant que différence entre (1) un volume total du barboteur et le système de distribution de vapeur et (2) le volume total déterminé du gaz de remplissage.