STRUCTURES DE CONTACT DE NANOTUBE DE CARBONE

N° de brevet: WO2008024726 (A2)
Date de publication: 2008-02-28
Inventeur(s): ELDRIDGE BENJAMIN N [US];GRITTERS JOHN K [US];KHANDROS IGOR K [US];MARTENS ROD [US];MATHIEU GAETAN L [CA];
Demandeur(s): FORMFACTOR INC [US];ELDRIDGE BENJAMIN N [US];GRITTERS JOHN K [US];KHANDROS IGOR K [US];MARTENS ROD [US];MATHIEU GAETAN L [CA];
Classification: D01F9/12;
N° de demande: WO2007US76345 20070821 
Numéro(s) de priorité: US20060466039 20060821 
Les modes de réalisation de l'invention concernent une bague de rétention à utiliser avec un processus de polissage chimico-mécanique avec un corps comprenant un polymère de polyléthylène téréphthalate ou un polymère qui contient des monomères d'éthylène téréphthalate.

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