PROCÉDÉ ET SYSTÈME POUR DÉPOSER UNE COMPOSITION D'ALLIAGE

N° de brevet: WO2008022316 (A2)
Date de publication: 2008-02-21
Inventeur(s): KIM BIOH [US];BERNT MARVIN [US];WILSON GREG [US];MCHUGH PAUL R [US];
Demandeur(s): SEMITOOL INC [US];KIM BIOH [US];BERNT MARVIN [US];WILSON GREG [US];MCHUGH PAUL R [US];
Classification: C25D5/02;C25B9/00;
N° de demande: WO2007US76215 20070817 
Numéro(s) de priorité: US20060507066 20060818 
L'invention concerne un procédé et un système dans lesquels le potentiel électrique, la densité de courant, l'agitation et la vitesse de dépôt sont contrôlés pour déposer des alliages métalliques, tels que des alliages de brasage à base d'étain ou des alliages magnétiques, avec des variations minimales dans les rapports en poids des métaux d'alliage, à différents emplacements à l'intérieur de la caractéristique d'alliage métallique déposé. D'autres modes de réalisation comprennent des procédés qui forment des caractéristiques d'alliages métalliques dans lesquels la variation du rapport en poids des métaux d'alliage à l'intérieur de la caractéristique n'est pas nécessairement rendue minimale, mais est contrôlée pour assurer une variation désirée. En plus des alliages métalliques, d'autres modes de réalisation comprennent des procédés pour améliorer le dépôt de caractéristiques métalliques individuelles.

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