SOLUTION SERVANT À FORMER UNE BOUE DE POLISSAGE, BOUE DE POLISSAGE ET PROCÉDÉS CORRESPONDANTS

N° de brevet: WO2008022259 (A1)
Date de publication: 2008-02-21
Inventeur(s): COMEAU JOSEPH K V [US];KATSNELSON MARINA M [US];TIERSCH MATTHEW T [US];WHITE ERIC J [US];
Demandeur(s): IBM [US];COMEAU JOSEPH K V [US];KATSNELSON MARINA M [US];TIERSCH MATTHEW T [US];WHITE ERIC J [US];
Classification: C09K13/00;
N° de demande: WO2007US76098 20070816 
Numéro(s) de priorité: US20060465176 20060817 
L'invention concerne une solution servant à former une boue de polissage, la boue de polissage et les procédés correspondants. La solution servant à former une boue de polissage peut comprendre du 1H-benzotriazole (BTA) dissous dans un tensioactif ionique tel qu'une solution d'alkylsulfate de sodium et éventuellement une solution d'acide polyacrylique (PAA). La solution peut être filtrée et utilisée dans une boue de polissage. Cette approche de la solubilisation du BTA entraîne une concentration élevée du BTA dans une boue de polissage sans ajout de composants étrangers à la boue ni risques accrus pour la sécurité. En plus, la solution est plus facile à transporter parce qu'elle est très stable (par exemple elle peut être congelée et dégelée) et qu'elle a un volume inférieur par rapport aux approches classiques. En outre, les performances de la boue de polissage sont grandement améliorées à cause de l'élimination de particules qui peuvent provoquer des rayures.

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