L'invention concerne des micro-clapets anti-retour possédant un élément flottant libre permettant de commander l'écoulement de fluide dans des applications microfluidiques et biomédicales et ses procédés de fabrication. Un micro-clapet anti-retour contient un siège de soupape, un chapeau de valve qui touche le siège de soupape et un élément flotteur sans attache susceptible de se déplacer entre le siège de soupape et le chapeau de valve. Certains micro-clapets anti-retour présentent une pression de craquage nulle et aucune fuite de refoulement. Certaines autres valves peuvent être configurées pour permettre l'écoulement de fluide dans une plage de pression. L'élément flotteur peut être solide ou définir un orifice, et le siège de soupape peut présenter un ou deux niveaux. Les valves peuvent être configurées pour permettre l'écoulement de fluide lorsque l'élément flotteur est repoussé par le fluide contre le chapeau de valve ou contre le siège de soupape. Le siège de soupape peut être en silicium ou un autre matériau qui est compatible avec les processus de micro-usinage, et le chapeau de valve et l'élément flotteur peuvent être un polymère comme le Parylène.