FRITTE D'OXYDE DE ZINC, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CELLE–CI ET CIBLE DE PULVÉRISATION CATHODIQUE

N° de brevet: WO2008018402 (A1)
Date de publication: 2008-02-14
Inventeur(s): FUKUSHIMA HIDEKO [JP];
Demandeur(s): HITACHI METALS LTD [JP];FUKUSHIMA HIDEKO [JP];
Classification: C04B35/453;C23C14/34;
N° de demande: WO2007JP65345 20070806 
Numéro(s) de priorité: JP20060219229 20060811;JP20070075785 20070323 
L'invention concerne une fritte d'oxyde de zinc dense obtenue dans un degré tel que la fritte, lorsqu'elle est utilisée comme cible de pulvérisation cathodique, elle ne génère pas de décharge anormale et peut donner une électrode transparente ayant une faible résistivité. L'invention concerne également un procédé de fabrication d'une fritte d'oxyde de zinc, comprenant ZnO et de l'aluminium ajouté à celui-ci, le procédé comprenant : une étape de production de poudre de calcination dans laquelle une première poudre de ZnO est mélangée avec une poudre d'Al SUB 2 /SUB O SUB 3 /SUB et ce mélange est soumis à une cuisson ; et une étape de cuisson principale dans laquelle la poudre de calcination ainsi obtenue est mélangée avec une seconde poudre de ZnO et ce mélange est compacté, puis soumis à une cuisson. Dans le procédé, une fritte d'oxyde de zinc est formée non par mélange d'une poudre d'Al SUB 2 /SUB O SUB 3 /SUB avec une poudre de ZnO, compactage du mélange et cuisson de celui-ci, mais par les opérations consistant à former tout d'abord une poudre de calcination comprenant une phase de ZnAl SUB 2 /SUB O SUB 4 /SUB , à mélanger cette poudre de calcination avec une poudre de ZnO, à compacter le mélange et à le soumettre à une cuisson.

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