CORPS FRITTÉ EN NITRURE D'ALUMINIUM ET SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION

N° de brevet: WO2008018302 (A1)
Date de publication: 2008-02-14
Inventeur(s): ESAKI TATSUO [JP];SATOU HIDEKI [JP];
Demandeur(s): TOKUYAMA CORP [JP];ESAKI TATSUO [JP];SATOU HIDEKI [JP];
Classification: C04B35/581;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/683;
N° de demande: WO2007JP64700 20070726 
Numéro(s) de priorité: JP20060214498 20060807 
La présente invention concerne un corps fritté en nitrure d'aluminium dans lequel le rapport d'une aire de pic S2 d'un pic de diffraction 2? valant de 34º à 35º correspondant à une phase d'oxynitrure d'aluminium sur une aire de pic S1 d'un pic de diffraction de nitrure d'aluminium [100] dans une diffraction de rayon X, à savoir, S2/S1, n'est pas inférieur à 0,01 et pas supérieur à 0,3, et la concentration de spin avec un champ magnétique non inférieur à 336 mT et non supérieur à 342 mT, n'est pas inférieure à 1 OE10 SU15 /SU spins/cm SU3 /SU et pas supérieure à 1 OE10 SU20 /SU spins/cm SU3 /SU lorsqu'elle est mesurée par un procédé de spin-résonance électronique. Le corps fritté en nitrure d'aluminium est produit en mélangeant une quantité spécifique d'une poudre d'a-alumine, qui a un diamètre moyen de particules non inférieur à 0,3 et non supérieur à 0,8 par rapport au diamètre moyen de particules d'une poudre de nitrure d'aluminium, avec la poudre de nitrure d'aluminium, et en soumettant le mélange à un frittage sous pression atmosphérique à une température spécifique sous une atmosphère d'azote. La constitution ci-dessus peut donner un corps fritté en nitrure d'aluminium dans lequel la résistivité volumique peut être régulée dans la gamme de 10 SU8 /SU O.cm à 10 SU12 /SU O.cm et, en outre, même après un traitement thermique à 1950 °C par liaison ou analogue, la résistivité volumique peut être maintenue stable.

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