|
DISPOSITIF MICROÉLECTRONIQUE À LIGNES ÉLECTRIQUES ET LIGNES DE SIGNAUX
La présente invention concerne un dispositif microélectronique pour manipuler un échantillon , le dispositif comportant un réseau d'unités d'actionnement (AU) et un réseau d'unités sensibles (SU). Les unités d'actionnement (AU) peuvent notamment exercer des forces diélectrophorétiques sur un échantillon (1) dans une enceinte d'échantillons adjacente, et les unités sensibles (SU) mesurent éventuellement des propriétés dudit échantillon. En outre, les unités d'actionnement (AU) sont reliées à un ensemble de lignes électriques (PL) et les unités sensibles (SU) sont reliées à un ensemble de lignes de signaux (SL). L'acheminement de ces lignes est tel que les effets de couplages parasites sont minimisés pour un ensemble donné de signaux d'alimentation électriques alternatifs sur les lignes électriques. Les lignes électriques (PL) peuvent notamment être alimentées de signaux électriques alternatifs qui sont identiques outre un déphasage. Éventuellement, les couplages entre les lignes électriques et les lignes de signaux sont aptes à fournir une compensation maximale d'effets de diaphonie.
|