MÉTHODES ET APPAREILS D'ANALYSE IN SITU DE GAZ DANS DES SYSTÈMES DE FABRICATION DE DISPOSITIFS ÉLECTRONIQUES
| N° de brevet: |
WO2008016569 (A2) |
| Date de publication: |
2008-02-07 |
| Inventeur(s): |
CARLSON DAVID K [US];KUPPURAO SATHEESH [US]; |
| Demandeur(s): |
APPLIED MATERIALS INC [US];CARLSON DAVID K [US];KUPPURAO SATHEESH [US]; |
| Classification: |
E03B5/00;G01N33/00; |
| N° de demande: |
WO2007US17038 20070730 |
| Numéro(s) de priorité: |
US20060820958P 20060731 |
L'invention porte sur des systèmes et des procédés consistant à régler la pression d'un gaz échantillon présent dans une chambre d'essai, par exemple en utilisant un gaz de référence inerte sous pression, puis à déterminer la composition dudit gaz. En réglant la pression du gaz de l'échantillon, on peut en déterminer avec une plus grande précision la composition, qu'avec d'autres moyens. L'invention porte également sur plusieurs autres aspects
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