Selon l'invention, deux actionneurs sont fixés l'un à l'autre. Un des actionneurs accomplit un déplacement de cisaillement tandis que l'autre accomplit un déplacement linéaire. L'actionneur de cisaillement est placé de telle sorte que l'étage mobile veient au contact de l'actionneur. L'actionneur linéaire est placé sous l'actionneur de cisaillement. Ce montage est réalisé au-dessus de la zone fixe de l'étage monolithique. La rigidité de l'étage mécanique est inférieure à celle des actionneurs à semiconducteurs. Cette combinaison fonctionne efficacement lorsque la pulsion continue est envoyée à l'actionneur, à la fréquence de ce dernier.