L'invention concerne des procédés pour l'imagerie de motifs de caractéristiques par transfert thermique, qui mettent en jeu le contrôle d'intensités d'une pluralité de faisceaux. Les intensités de faisceaux qui réalisent une image des parties de bordure d'une caractéristique peuvent être réglées pour être différentes des intensités de faisceaux qui réalisent une image des parties intérieures de la caractéristique. Les faisceaux qui réalisent une image des bordures proches et distantes d'une caractéristique peuvent être contrôlés pour avoir des intensités différentes. Un appareil pour l'imagerie de motifs de caractéristiques peut comprendre un dispositif de commande configuré pour conserver les informations d'intensité pour des canaux d'une tête d'imagerie à plusieurs canaux. Le dispositif de commande utilise les informations d'intensité pour régler les intensités de ces canaux qui correspondent aux parties de bordure des caractéristiques dont les images sont réalisées dans un champ balayé courant de la tête d'imagerie.