Composition d'électrolyte et procédé pour le dépôt électrolytique des couches contenant du palladium

N° de brevet: EP1892320 (A1)
Date de publication: 2008-02-27
Inventeur(s): SCHAEFER STEFAN [DE];
Demandeur(s): ENTHONE [US];
Classification: C25D3/52;C25D3/56;
N° de demande: EP20060017410 20060822 
Numéro(s) de priorité: EP20060017410 20060822 
Um eine Elektrolytzusammensetzung sowie ein Verfahren bereitzustellen, mit welchen es möglich ist, bei Überwindung der aus dem Stand der Technik bekannten Probleme Palladium- oder Palladiumlegierungsbeschichtungen abzuscheiden, wird mit der Erfindung hinsichtlich der Elektrolytzusammensetzung durch eine Elektrolytzusammensetzung zur Abscheidung einer Palladiumschicht oder einer palladiumhaltigen Schicht auf Substratoberflächen vorgeschlagen, welche wenigstens eine Palladiumquelle, eine Sulfonsäure sowie ein Netzmittel aufweist. Im Falle der Abscheidung von Palladium-Legierungsschichten weist die Elektrolytzusammensetzung darüber hinaus ein Legierungsmetall auf. Darüber hinaus kann die erfindungsgemäße Elektrolytzusammensetzung weitere schwefelhaltige Verbindungen zur Abscheidung dunkler Palladiumschichten aufweisen.

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