Éléments résistants au plasma au gaz d'halogène, stratifiés, et éléments résistants à la corrosion- Brevets EP1892318 (A1)

Éléments résistants au plasma au gaz d'halogène, stratifiés, et éléments résistants à la corrosion

N° de brevet:	EP1892318 (A1)
Date de publication:	2008-02-27
Inventeur(s):	YAMADA HIROTAKE [JP];KATSUDA YUJI [JP];OHASHI TSUNEAKI [JP];MASUDA MASAAKI [JP];HARADA MASASHI [JP];IWASAKI HIROYUKE [JP];ITO SHIGENORI [JP];
Demandeur(s):	NGK INSULATORS LTD [JP];
Classification:	C23C16/50;B32B18/00;C23C16/44;C04B41/50;C04B41/52;C04B41/87;C04B41/89;C23C4/00;C23C4/18;C23C16/40;C23C24/08;C23C26/00;C23C30/00;
N° de demande:	EP20070017724 20010417
Numéro(s) de priorité:	EP20010303504 20010417;JP20000116484 20000418;JP20000121112 20000421;JP20000376151 20001211;JP20000388298 20001221

A halogen gas plasma-resistant member to be exposed to a halogen gas plasma, includes a main body of said member, and a corrosion-resistant film formed at least a surface of said main body, wherein a peeling resistance of the corrosive film to said main body is not less than 15 MPa.