|
MÉCANISME DE POMPAGE MOLÉCULAIRE MÉCANIQUE
Mécanisme de pompage Siegbahn comprend un rotor et un stator (16). Le stator comprend une pluralité de parois (18) s'étendant vers une surface sensiblement planaire du rotor. Chaque paroi comprend une base (30), une surface supérieure (32) située à proximité de la surface planaire du rotor, et des surfaces latérales (34, 36) s'étendant depuis la base jusqu'à la surface supérieure. Les parois définissent une pluralité de canaux en spirale (20) à l'intérieur du stator. Afin de réduire l'énergie consommée pendant le fonctionnement du mécanisme de pompage, au moins une des surfaces latérales de chaque paroi est réduite vers le rotor de sorte que la superficie de la surface supérieure est inférieure à la superficie de la base.
|