PROCÉDÉ PERMETTANT DE DÉTERMINER UNE INDICATION DE L'ÉTAT D'UNE POMPE TUBOMOLÉCULAIRE ET POMPE TURBOMOLÉCULAIRE

N° de brevet: WO2008012150 (A1)
Date de publication: 2008-01-31
Inventeur(s): GOETZE THOMAS [DE];HOELZER REINER [DE];HARIG CHRISTIAN [DE];
Demandeur(s): OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH [DE];GOETZE THOMAS [DE];HOELZER REINER [DE];HARIG CHRISTIAN [DE];
Classification: F04D19/04;F04D27/02;F04D29/66;
N° de demande: WO2007EP56248 20070622 
Numéro(s) de priorité: DE200610034478 20060726 
L'invention concerne un procédé permettant de déterminer une indication de l'état d'une pompe turbomoléculaire ainsi qu'une pompe turbomoléculaire qui permettent de déterminer une courbe d'oscillations à l'aide d'un enregistreur de vibrations (10) relié à la pompe turbomoléculaire. La courbe d'oscillations déterminée est transmise à un dispositif d'évaluation (12), des amplitudes d'oscillations, qui sont comparées à des valeurs comparatives, étant déterminées dans le dispositif d'évaluation (12) à l'aide d'un filtre (16). En cas de dépassement d'une valeur limite, un signal d'alerte est émis à un dispositif de surveillance (30) par le biais d'un dispositif de télétransmission de données (28). Le procédé permet une surveillance en ligne de la pompe turbomoléculaire.

Copyright © 2008 Patfr.com Tous droits réservés. Contact