PROCEDE POUR LA CROISSANCE DE NITRURE D' INDIUM- Brevets WO2008009805 (A1)

PROCEDE POUR LA CROISSANCE DE NITRURE D' INDIUM

N° de brevet:	WO2008009805 (A1)
Date de publication:	2008-01-24
Inventeur(s):	RUFFENACH SANDRA [FR];BRIOT OLIVIER [FR];GIL BERNARD [FR];
Demandeur(s):	CENTRE NAT RECH SCIENT [FR];UNIV MONTPELLIER II [FR];RUFFENACH SANDRA [FR];BRIOT OLIVIER [FR];GIL BERNARD [FR];
Classification:	C30B25/02;C30B29/40;
N° de demande:	WO2007FR01216 20070716
Numéro(s) de priorité:	FR20060006522 20060718

La présente demande concerne un procédé pour la croissance de nitrure d' indium sur un substrat par MOVPE en présence d'un gaz rare comme gaz vecteur de croissance.