SYSTÈME POUR NETTOYER UN OBJET PLAT

N° de brevet: WO2008009452 (A2)
Date de publication: 2008-01-24
Inventeur(s): FRIESENECKER ANDREAS [DE];BECKER STEFAN [DE];
Demandeur(s): IC AUTOMATION GMBH [DE];FRIESENECKER ANDREAS [DE];BECKER STEFAN [DE];
Classification: B08B5/02;B08B5/04;H01L21/02;
N° de demande: WO2007EP06433 20070719 
Numéro(s) de priorité: DE200610034309 20060721 
L'invention concerne un nettoyeur de plaquettes (10) qui peut nettoyer la surface d'une plaquette (70) sans utilisation de pièces mobiles. À cet effet, le système selon l'invention comprend un support (60) au-dessus duquel sont placés plusieurs tubes à air comprimé (20 à 36) successifs qui sont alimentés successivement en air comprimé de façon à produire un rideau d'air comprimé (40) qui se déplace sur la surface de la plaquette (70) et pousse ainsi les particules de poussière et/ou de saleté jusqu'à un dispositif d'aspiration (90) qui aspire lesdites particules.

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