DISQUE DE CONDITIONNEMENT POSSÉDANT DES STRUCTURES UNIFORMES
| N° de brevet: |
WO2008008822 (A2) |
| Date de publication: |
2008-01-17 |
| Inventeur(s): |
YILMAZ ALPAY [US];OZGUN OMER [US];ALONZO GERALD J [US];KARUPPIAH LAKSHMANAN [US];CHANG SHOU SUNG [US];MANENS ANTOINE [US];SAKATA CLINTON [US]; |
| Demandeur(s): |
APPLIED MATERIALS INC [US];YILMAZ ALPAY [US];OZGUN OMER [US];ALONZO GERALD J [US];KARUPPIAH LAKSHMANAN [US];CHANG SHOU SUNG [US];MANENS ANTOINE [US];SAKATA CLINTON [US]; |
| Classification: |
B24B21/18; |
| N° de demande: |
WO2007US73239 20070711 |
| Numéro(s) de priorité: |
US20060807066P 20060711;US20070775533 20070710 |
La présente invention concerne un procédé et un appareil permettant de conditionner un matériau de polissage conducteur. Dans un mode de réalisation de l'invention, le dresseur de tampon comprend une contreplaque conçue pour se raccorder à un ensemble tête de conditionnement, cette contreplaque comprenant un disque rigide possédant une première face et une face opposée, la seconde face possédant une orientation perpendiculaire à la ligne centrale de la contreplaque, et un élément annulaire possédant une partie base collée à la seconde face de la contreplaque, cet élément annulaire définissant une surface de conditionnement opposée à la seconde face qui est en pente radiale par rapport à un plan de cette seconde face.
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