La présente invention concerne un tampon à polir comprenant une fenêtre pouvant être utile pour polir des articles et pouvant être notamment utile pour polir ou planariser de façon mécanique et/ou chimique un dispositif microélectronique, tel qu'une tranche de semi-conducteur. La fenêtre du tampon à polir est au moins en partie transparente et peut donc être particulièrement utile pour polir ou planairiser des outils dotés du dispositif de métrologie traversant la plaque.