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APPAREIL OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE, APPAREIL D'EXPOSITION, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DU DISPOSITIF
La présente invention concerne un appareil optique d'éclairage qui peut éclairer séparément deux zones à une certaine distance dans des conditions d'éclairage prescrites. L'appareil optique d'éclairage comporte un premier système d'éclairage servant à éclairer une première zone d'éclairage (M1) et un second système d'éclairage servant à éclairer une seconde zone d'éclairage (M2). Le premier système d'éclairage comporte des premiers systèmes variables (11, 13, 14) permettant de faire varier la forme ou la taille de la distribution d'intensité lumineuse sur une pupille d'éclairage du premier système d'éclairage, et le second système d'éclairage comporte des seconds systèmes variables (21, 23, 24) permettant de faire varier la forme ou la taille de la distribution d'intensité lumineuse sur une pupille d'éclairage du second système d'éclairage. Le premier système variable et le second système variable font varier indépendamment la distribution d'intensité lumineuse sur la pupille d'éclairage du premier système d'éclairage et la distribution d'intensité lumineuse sur la pupille d'éclairage du second système d'éclairage.
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