APPAREIL OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE, APPAREIL D'EXPOSITION, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DU DISPOSITIF

N° de brevet: WO2008007633 (A1)
Date de publication: 2008-01-17
Inventeur(s): MIZUNO YASUSHI [JP];SHIGEMATSU KOJI [JP];MURAMATSU KOUJI [JP];TANAKA HIROHISA [JP];TANITSU OSAMU [JP];
Demandeur(s): NIPPON KOGAKU KK [JP];MIZUNO YASUSHI [JP];SHIGEMATSU KOJI [JP];MURAMATSU KOUJI [JP];TANAKA HIROHISA [JP];TANITSU OSAMU [JP];
Classification: G02B21/12;G02B21/18;G03F7/20;H01L21/027;
N° de demande: WO2007JP63644 20070709 
Numéro(s) de priorité: JP20060191348 20060712 
La présente invention concerne un appareil optique d'éclairage qui peut éclairer séparément deux zones à une certaine distance dans des conditions d'éclairage prescrites. L'appareil optique d'éclairage comporte un premier système d'éclairage servant à éclairer une première zone d'éclairage (M1) et un second système d'éclairage servant à éclairer une seconde zone d'éclairage (M2). Le premier système d'éclairage comporte des premiers systèmes variables (11, 13, 14) permettant de faire varier la forme ou la taille de la distribution d'intensité lumineuse sur une pupille d'éclairage du premier système d'éclairage, et le second système d'éclairage comporte des seconds systèmes variables (21, 23, 24) permettant de faire varier la forme ou la taille de la distribution d'intensité lumineuse sur une pupille d'éclairage du second système d'éclairage. Le premier système variable et le second système variable font varier indépendamment la distribution d'intensité lumineuse sur la pupille d'éclairage du premier système d'éclairage et la distribution d'intensité lumineuse sur la pupille d'éclairage du second système d'éclairage.

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