TAMPON DE POLISSAGE À FENÊTRE COMPRENANT UNE PLURALITÉ DE PARTIES

N° de brevet: WO2008005951 (A2)
Date de publication: 2008-01-10
Inventeur(s): BENVEGNU DOMINIC [US];SWEDEK BOGUSLAW [US];ZHANG JIMIN [US];
Demandeur(s): APPLIED MATERIALS INC [US];BENVEGNU DOMINIC [US];SWEDEK BOGUSLAW [US];ZHANG JIMIN [US];
Classification: B24B49/00;
N° de demande: WO2007US72690 20070702 
Numéro(s) de priorité: US20060818423P 20060703 
La présente invention concerne un tampon de polissage comportant une couche de polissage opaque traversée par une ouverture et une surface de polissage, et une fenêtre pleine de transmission de lumière dans l'ouverture. La fenêtre pleine de transmission de lumière comprend une partie extérieure solidaire de la couche de polissage et une partie intérieure solidaire de la partie extérieure. La partie extérieure comprend une surface supérieure en retrait par rapport à la surface de polissage, tandis que la partie intérieure comprend une surface supérieure qui est sensiblement coplanaire avec la surface de polissage.

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