DISPOSITIF ET PROCÉDÉ POUR INDIVIDUALISER ET TRANSPORTER DES SUBSTRATS
| N° de brevet: |
WO2008003502 (A1) |
| Date de publication: |
2008-01-10 |
| Inventeur(s): |
HERTER RICHARD [DE];KALTENBACH KONRAD [DE]; |
| Demandeur(s): |
RENA SONDERMASCHINEN GMBH [DE];HERTER RICHARD [DE];KALTENBACH KONRAD [DE]; |
| Classification: |
B28D5/00; |
| N° de demande: |
WO2007EP05968 20070705 |
| Numéro(s) de priorité: |
DE200610031629 20060706;EP20060026054 20061215 |
L'invention concerne particulièrement l'individualisation et le transport d'un substrat en forme de disque (102 ; 202) comme par exemple une tranche de silicium pour cellule solaire. L'invention est caractérisée en ce que les individualisations ont lieu à l'intérieur d'un fluide, et qu'entre un grappin (108 ; 208) et le substrat à individualiser (102 ; 202) des forces d'adhésion se créent en raison d'un film mince de fluide, lesquelles permettent une adhérence sur le grappin (108 ; 208). Le soulèvement transversalement au sens d'avancement (105 ; 205) ou en particulier parallèlement à la conception plane des substrats (102 ; 202) permet d'obtenir une individualisation très délicate et efficace des substrats (102 ; 202) en forme de disque avec une cadence élevée.
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