DISPOSITIF ET PROCÉDÉ POUR INDIVIDUALISER ET TRANSPORTER DES SUBSTRATS

N° de brevet: WO2008003502 (A1)
Date de publication: 2008-01-10
Inventeur(s): HERTER RICHARD [DE];KALTENBACH KONRAD [DE];
Demandeur(s): RENA SONDERMASCHINEN GMBH [DE];HERTER RICHARD [DE];KALTENBACH KONRAD [DE];
Classification: B28D5/00;
N° de demande: WO2007EP05968 20070705 
Numéro(s) de priorité: DE200610031629 20060706;EP20060026054 20061215 
L'invention concerne particulièrement l'individualisation et le transport d'un substrat en forme de disque (102 ; 202) comme par exemple une tranche de silicium pour cellule solaire. L'invention est caractérisée en ce que les individualisations ont lieu à l'intérieur d'un fluide, et qu'entre un grappin (108 ; 208) et le substrat à individualiser (102 ; 202) des forces d'adhésion se créent en raison d'un film mince de fluide, lesquelles permettent une adhérence sur le grappin (108 ; 208). Le soulèvement transversalement au sens d'avancement (105 ; 205) ou en particulier parallèlement à la conception plane des substrats (102 ; 202) permet d'obtenir une individualisation très délicate et efficace des substrats (102 ; 202) en forme de disque avec une cadence élevée.

Copyright © 2008 Patfr.com Tous droits réservés. Contact