MICROCOMPOSANT ENCAPSULE EQUIPE D'AU MOINS UN GETTER- Brevets FR2903678 (A1)

MICROCOMPOSANT ENCAPSULE EQUIPE D'AU MOINS UN GETTER

N° de brevet:	FR2903678 (A1)
Date de publication:	2008-01-18
Inventeur(s):	PORNIN JEAN LOUIS;GILLOT CHARLOTTE;BALERAS FRANCOIS;
Demandeur(s):	COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE [FR];
Classification:	B81B7/00;B81C1/00;H01L23/26;H01L21/56;
N° de demande:	FR20060052978 20060713
Numéro(s) de priorité:	FR20060052978 20060713

Il s'agit d'un microcomposant encapsulé possédant un capot (3) délimitant une cavité (4) étanche et doté d'au moins un orifice (5) pourvu d'un bouchon (6). Le bouchon (6) comporte une partie en matériau getter (6.1) exposée à l'intérieur de la cavité (4).Application notamment aux MEMS.