DISPOSITIF ET PROCEDE DE POLISSAGE DE BORD PERIPHERIQUE DE TRANCHE A SEMI–CONDUCTEUR

N° de brevet: EP1872393 (A1)
Date de publication: 2008-01-02
Inventeur(s): TAKAHASHI TAMAMI [JP];ITO KENYA [JP];SHIRAKASHI MITSUHIKO [JP];INOUE KAZUYUKI [JP];YAMAGUCHI KENJI [JP];SEKI MASAYA [JP];SATO SATORU [JP];WATANABE JUN [JP];KATO KENJI [JP];TAMURA JUN [JP];ASAKAWA SOUICHI [JP];
Demandeur(s): NIHON MICROCOATING CO LTD [JP];EBARA CORP [JP];
Classification: B24B9/00;H01L21/304;
N° de demande: EP20060732250 20060418 
Numéro(s) de priorité: WO2006JP308492 20060418;JP20050121464 20050419 
La présente invention concerne un porte-charge de matériau particulaire sous forme d'une benne minière (10) qui comprend une chambre de transport de minerai (12) s'étendant à l'intérieur d'une coque externe profilée au-dessus de manière rectangulaire (14) qui est formée avec des ouvertures de chargement et déchargement (16) et (18) respectivement, tandis que la paroi de la coque (14) est constituée d'un motif ondulant du fait de présenter une formation de motif ondulé. La coque (14) consiste en une partie centrale (12) dont la formation de motif ondulé s'étend de manière circonférentielle autour de l'axe central (22) de la benne (10) le long de parois de coque s'étendant de manière planaire (26) et à travers des coins arqués (28) et un couloir de décharge (30). La partie centrale (20) est formée d'une pluralité de sections de coque fixées de manière empilée.

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