PROCÉDÉS ET APPAREIL POUR SUPPORTER UN SUBSTRAT DANS UNE ORIENTATION HORIZONTALE PENDANT LE NETTOYAGE DE CELUI–CI

N° de brevet: WO2007145904 (A2)
Date de publication: 2007-12-21
Inventeur(s): OLGADO DONALD J K [US];NANGOY ROY C [US];TULSHIBAGWALE SHESHRAJ L [US];CHEN HUI [US];SHIN HO SEON [US];
Demandeur(s): APPLIED MATERIALS INC [US];
Classification: A46B13/00;B08B3/10;B08B7/04;B24B51/00;
N° de demande: WO2007US13170 20070604 
Numéro(s) de priorité: US20060811161P 20060605 
Dans un ou plusieurs aspects, l'invention concerne un appareil pour nettoyer un substrat, comprenant (1) une pluralité de rouleaux adaptés pour entrer en contact avec et supporter le substrat dans une orientation horizontale, et (2) au moins une brosse adaptée pour entrer en contact avec une surface principale du substrat pendant que le substrat est supporté par la pluralité de rouleaux pour nettoyer la surface principale du substrat. Au moins un des rouleaux de la pluralité de rouleaux est adapté pour se déplacer entre une position ouverte qui permet au substrat d'être chargé sur ou déchargé de la pluralité de rouleaux et une position fermée dans laquelle le substrat est supporté par la pluralité de rouleaux. De nombreux autres aspects sont prévus.

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