COMPOSANT micromécanique et son procédé de fabrication
| N° de brevet: |
WO2007137893 (A1) |
| Date de publication: |
2007-12-06 |
| Inventeur(s): |
FEYH ANDO [DE];LAMMER MARCO [DE]; |
| Demandeur(s): |
BOSCH GMBH ROBERT [DE];FEYH ANDO [DE];LAMMER MARCO [DE]; |
| Classification: |
B81C1/00;H04R19/00;H04R19/04; |
| N° de demande: |
WO2007EP53182 20070402 |
| Numéro(s) de priorité: |
DE200610024668 20060526 |
L'invention concerne une technologie peu onéreuse destinée à réaliser un composant micromécanique dont la structure stratifiée comporte au moins une membrane (12) sur le côté supérieur et au moins un contre-élément (13), une cavité étant conçue entre la membrane (12) et le contre-élément (13) et le contre-élément (13) comprenant au moins une ouverture de passage (4) en direction d'un volume arrière. Ce volume arrière est formé par une autre cavité fermée (6) au-dessous du contre-élément (13) et est rattaché par au moins une ouverture de compensation de pression (5) au côté supérieur de la structure stratifiée. Cette structure du composant permet d'intégrer les fonctions micromécaniques du capteur et une électronique d'analyse sur une puce et convient en outre à une production de masse.
|