Un filtre lenticulaire creux (D,D') en quartz très pur, dans lequel un liquide qui évacue la chaleur rayonnée par la lampe, qui a la propriété de forte perméabilité aux UV et qui maintient cette propriété durablement, tel par exemple de l'eau distillée ou purifiée autrement,est mis en circulation en continu et sur le chemin le plus court, est placé entre la source (L) émettant les rayons UV et le substrat (S) étant irradié. Un autre filtre (20) fabriqué en utilisant une technique d'interférométrie par dépôt de plasma sous vide de matériaux appropriés selon des couches ultraminces sur la surface extérieure du filtre en quartz peut être prévu sur ladite surface du filtre lenticulaire opposée au substrat (S) étant irradiée, étant admis que ce filtre additionnel a des caractéristiques de transparence qui diffèrent d'avec les fréquences impliquées de manière à être hautement imperméable aux rayonnements UV et réfléchir à la place vers le liquide de refroidissement une partie considérable du rayonnement infrarouge résiduel qui s'échapperait autrement dudit liquide de refroidissement.