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DISPOSITIF ET PROCÉDÉS DE FABRICATION DE BARRES DE SILICIUM D'UNE GRANDE PURETÉ AU MOYEN DE D'ÉLÉMENTS D'ÂME MIXTES
Procédé et dispositif de fabrication d'une barre de silicium polycristallin au moyen d'éléments d'âme mixtes. Ce procédé englobe les opérations suivantes: mise en place d'un premier élément d'âme fait d'un matériau résistif conjointement avec un second élément d'âme en silicium dans l'espace intérieur d'un réacteur de déposition; chauffage par électricité du premier élément d'âme et préchauffage du second élément d'âme par le premier élément d'âme chauffé électriquement; et introduction d'un gaz de réaction dans l'espace intérieur de sorte que le premier et le second éléments d'âme sont chauffés en vue du dépôt du silicium.
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