PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN ÉLÉMENT MICROMÉCANIQUE ET ÉLÉMENT MICROMÉCANIQUE

N° de brevet: WO2007131836 (A1)
Date de publication: 2007-11-22
Inventeur(s): WEBER HERIBERT [DE];SCHELLING CHRISTOPH [DE];SCHLOSSER ROMAN [DE];
Demandeur(s): BOSCH GMBH ROBERT [DE];WEBER HERIBERT [DE];SCHELLING CHRISTOPH [DE];SCHLOSSER ROMAN [DE];
Classification: B81C1/00;H04R19/04;
N° de demande: WO2007EP53221 20070403 
Numéro(s) de priorité: DE200610022378 20060512 
L'invention concerne un procédé de fabrication d'un élément micromécanique et un élément micromécanique, notamment un microphone, un micro-haut-parleur ou un capteur de pression (capteur de pression absolue ou relative), cet élément comprenant un support et une structure de membrane. La fabrication de la structure de membrane ne comprend que des opérations compatibles avec un circuit intégré monolithiquement dans ou sur le support, une structure sacrificielle appliquée sur le support étant enlevée pour fabriquer la structure de membrane.

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